半導體加工我們繼續(xù)革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉(zhuǎn)時間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。技術數(shù)據(jù)GV80GV160GV250GV400GV600構造3爪 1桿2爪 1桿3爪式3爪式3爪 1桿排量（工作容積）91。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。適用于鋰離子電池制造設備的全球真空泵制造商鋰離子電池正在推動全世界的環(huán)保議程，可靠的高質(zhì)量真空是其制造過程中的關鍵因素。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運行時間至關重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。7lbh-1重量105kg/231lb電機保護額定值IP44或IP54電機功率50Hz2。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

真空泵泵體振動大時，與其相連的進排氣管線振動也較大，基礎及底座振動不大，可以排除基礎固定松動等原因，主要原因出于上海真空泵泵體本身。

(1)閥片斷裂：當閥片斷裂時，上海真空泵泵體振動厲害，噪音很大，一般表現(xiàn)為軸向振動較大。

上海真空泵

(2)轉(zhuǎn)子葉片結垢：葉片結垢后，造成轉(zhuǎn)子質(zhì)量不平衡，旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生振動。此種因素一般影響較小。

(3)上海真空泵聯(lián)軸器橡膠墊損壞：橡膠緩沖墊損壞甚至被磨成粉末甩出，造成聯(lián)軸器的兩個對輪副直接碰磨，加劇轉(zhuǎn)子振動。工作中一定要使用質(zhì)量好的緩沖墊并經(jīng)常檢查。