鍍膜技術(shù)在光學(xué)儀器中的應(yīng)用

      人們熟悉的光學(xué)儀器有望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)、測距儀，以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等，它們都離不開鍍膜技術(shù)，鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。

   

1. 真空

在空間內(nèi)，低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)。

2. 真空度

表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來表示。

3. 真空區(qū)域劃分

低真空 105Pa-102Pa

中真空 102Pa-10-1Pa

高真空 10-1Pa-10-5Pa

超高真空 10-5Pa-10-9Pa

極高真空 <10-9Pa

4. 全壓力

混合氣體中所有組分壓力的綜合。

真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，包括真空離子蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺鍍膜機(jī)射、分子束外延鍍膜機(jī)和激光濺射沉積鍍膜機(jī)等很多種。主要是分成蒸發(fā)和濺射兩種。在過去幾年中，越來越多的用戶要求鍍膜系統(tǒng)制造廠家提供高性能的小規(guī)格、簡便型光學(xué)鍍膜系統(tǒng)，同時(shí)，用戶對性能的要求不僅沒有降低，反而有所提高，特別是在薄膜密度和保證吸水后光譜變化小化等方面。在真空鍍膜設(shè)備中需要鍍膜的被成為基片，鍍的材料被成為靶材?；c靶材同在真空腔中。

真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要，直接影響到電鍍的產(chǎn)品品質(zhì)。加工件進(jìn)入鍍膜室前一定要做到認(rèn)真的鍍前清潔處理。

真空鍍膜設(shè)備膜層灰暗及發(fā)黑：(1)真空度低于0.67Pa。應(yīng)將真空度提高到0.13-0.4Pa。(2)氣的純度低于99.9％。應(yīng)換用純度為99.99％的氣。(3)充氣系統(tǒng)漏氣。應(yīng)檢查充氣系統(tǒng)，排除漏氣現(xiàn)象。真空區(qū)域劃分低真空105Pa-102Pa中真空102Pa-10-1Pa高真空10-1Pa-10-5Pa超高真空10-5Pa-10-9Pa極高真空<。(4)底漆未充分固化。應(yīng)適當(dāng)延長底漆的固化時(shí)間。(5)鍍件放氣量太大。應(yīng)進(jìn)行干燥和封孔處理。真空鍍膜設(shè)備膜層表面光澤暗淡：(1)底漆固化不良或變質(zhì)。應(yīng)適當(dāng)延長底漆的固化時(shí)間或更換底漆。(2)濺射時(shí)間太長。應(yīng)適當(dāng)縮短。(3)濺射成膜速度太快。應(yīng)適當(dāng)降低濺射電流或電壓。