對(duì)LODTM機(jī)床來說，機(jī)床和工件尺寸大，受溫度影響也大。在同樣的切削量和線速度下，大工件的加工周期長，溫度對(duì)加工精度的影響非常大。因此，LODTM機(jī)床溫控要求非常高。如LLNL的LODTM機(jī)床，機(jī)床床體恒溫水、液壓系統(tǒng)控溫為0.0005℃，機(jī)房空氣控溫為0.003℃。精密加工廠服務(wù)熱線。

        對(duì)于小型商品化的機(jī)床，溫度控制要求不需太高（0.5℃）。這是因?yàn)樾×慵母咚偌庸r(shí)間短，溫度影響相對(duì)較小且易控。2011年，依托于北京航空精密研究所的精密制造技術(shù)航空科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研制出Nanosys-1000數(shù)控光學(xué)加工機(jī)床。這是我國研制成功的臺(tái)大型光學(xué)級(jí)加工水平的LODTM機(jī)床（圖2）。精密加工廠服務(wù)熱線。

        機(jī)床本體水恒溫、主軸、導(dǎo)軌液壓系統(tǒng)恒溫為0.1℃，加工機(jī)房空氣恒溫為0.1℃。機(jī)床主要技術(shù)指標(biāo)：工件尺寸范圍大于1m；測量、控制系統(tǒng)分辨率為納米級(jí)；加工面形精度為亞微米級(jí)；加工工件表面粗糙度為納米級(jí)。床身本體設(shè)計(jì)成整體類龍門框架結(jié)構(gòu)，具有高剛性、高穩(wěn)定性及安裝、維修、工件裝卸、加工運(yùn)行易操作性特點(diǎn)。精密加工廠服務(wù)熱線。

        機(jī)身整體坐落在4主動(dòng)式隔振氣墊上，形成動(dòng)力學(xué)3支撐，可隨著加工中改變自動(dòng)調(diào)水平；隔振氣墊下的機(jī)床地基設(shè)計(jì)成具有橫向隔離的重力型減振形式；機(jī)床及工件刀具加工點(diǎn)設(shè)計(jì)在接近支持平面的位置，以化床身姿態(tài)變化擾動(dòng)影響。機(jī)床主軸、導(dǎo)軌均采用液浮靜承，并根據(jù)工作狀態(tài)，主軸采用低阻尼,導(dǎo)軌采用高阻尼油；Z垂直導(dǎo)軌托板設(shè)計(jì)成無干涉氣浮重力平衡機(jī)構(gòu)。精密加工廠服務(wù)熱線。

      在小的尺度方面，太赫茲系統(tǒng)中的微型波紋喇叭天線（毫米級(jí)復(fù)雜形狀內(nèi)腔、微米級(jí)加工精度）是未來所需解決的超精密加工難題之一。超精密微機(jī)械加工機(jī)床的關(guān)鍵技術(shù)不在機(jī)床自身尺寸。由于運(yùn)動(dòng)精度要求，這種機(jī)床尺寸不能做得太小,因而其關(guān)鍵技術(shù)在于機(jī)床結(jié)構(gòu)，如工件的裝夾，在位測量、調(diào)整、對(duì)刀、微型超精密刀具等。精密加工廠服務(wù)熱線。

        在加工面形的復(fù)雜度方面，由于太赫茲波束控制元件表面電磁特性，其設(shè)計(jì)元件面形更加復(fù)雜，如非對(duì)稱賦形自由曲面等。由于各種條件限制，超精密機(jī)床不可能做得太大。對(duì)于硬脆材料的超大型應(yīng)用，如深空望遠(yuǎn)鏡拼接式離軸非球面鏡片可用相應(yīng)尺寸的多軸超精密自由曲面磨床加工解決，但對(duì)于太赫茲應(yīng)用的金屬基（如鋁基等）相同尺寸或更復(fù)雜面形元件，這種機(jī)床就不適宜。精密加工廠服務(wù)熱線。