廊坊市航新儀器儀表有限公司為了解決3軸加速度傳感器信號干擾的問題，同時濾掉三種形式的干擾，研制了一款石英加速度計輸出濾波器，在電氣組成上充分考慮了這三種干擾對輸出的影響，并有針對的處理，主要由RFI 濾波、儀表放大器、三倍放大二階低通濾波器和零位補(bǔ)償電路等組成。其中，由于內(nèi)部電阻器幫助把儀表放大器的輸入電路與外部信號源隔離使得RFI濾波除了提供對 RFI 抑制，還提供附加的輸入過載保護(hù)，消除射頻干擾，以穩(wěn)定輸出零位；儀表放大器用來消除共模干擾；二階有源低通濾波器（截止頻率客戶設(shè)置）用來消除差模干擾；多年來，公司生產(chǎn)的石英撓性加速度計為我國航天器的多次發(fā)射與飛行試驗做出的一定貢獻(xiàn)。零位補(bǔ)償電路主要是對濾波器零位進(jìn)行片上修正，確保加速度計的K0項輸出不引入新的誤差。此外，管芯選型充分考慮了寬溫域要求，采用航晶成熟的耐高溫厚膜工藝，在一個10.3×10.3×2.6mm的高溫共燒陶瓷殼體中實現(xiàn)，截止頻率、環(huán)路增益、零位均可調(diào)，具有高溫可靠性高，應(yīng)用靈活等特點。廊坊市航新儀器儀表有限公司3軸加速度傳感器產(chǎn)品具有體積小、重量輕、功耗小、信號數(shù)字化等特點，涉及機(jī)械加工學(xué)、電子技術(shù)學(xué)、自動控制學(xué)、微電路數(shù)字化集成、特種加工工藝等技術(shù)。

1 偏值 mg ≤20

2 偏值溫度系數(shù) μg/℃ ≤50

3 偏值月穩(wěn)定性 μg ≤80

4 標(biāo)度因數(shù) mA/g 3±0.5

5 標(biāo)度因數(shù)溫度系數(shù) ppm/℃ ≤200

6 標(biāo)度因數(shù)月穩(wěn)定性 ppm ≤10

7 量程 g 10

8 振動 g, Hz 20g(20~2000Hz)50g(50Hz)

9 沖擊 g, ms 1000g,0.5ms,1/2sin

2000g,0.5ms,1/2sin

10 工作溫度 ℃ -40~ 125, -40~ 150,-40~ 160,

11 重量 g ≤25

12 分辨率 g ≤5×10-5

特點：體積小,抗沖擊,可安裝于芯桿為1英寸的測斜儀上.

眾所周知，在嫦娥五號飛行試驗器8天的太空之旅中，主要包含地月轉(zhuǎn)移變軌、月球近旁轉(zhuǎn)向、環(huán)月軌道保持、月地轉(zhuǎn)移變軌和以接近第二宇宙速度（11.2公里/秒）再入返回地球等關(guān)鍵階段和環(huán)節(jié)，在此過程中，速度控制都是關(guān)鍵因素，而精準(zhǔn)測量各個階段速度變化（即加速度）正是加速度計的“看家”本領(lǐng)。試驗器每分每秒所發(fā)生的加速度變化，加速度計組件都了如指掌，從而使GNC系統(tǒng)能夠準(zhǔn)確量測飛行器的速度和位移，把握行蹤。據(jù)33所負(fù)責(zé)空間型號的總師介紹，加速度計的類型較多，根據(jù)其構(gòu)造形式可分為機(jī)械的和固態(tài)的，石英撓性加速度計屬于機(jī)械敏感器——力反饋擺式加速度計，其具有緊湊、可靠、精度高和動態(tài)范圍寬等特點。三十余年來，33所自主研制生產(chǎn)的該型加速度計已在眾多產(chǎn)品型號產(chǎn)品上得到了廣泛應(yīng)用。該型加速度計同時是助力神舟系列飛船飛行任務(wù)十戰(zhàn)十捷、飛船與天宮一號對接、嫦娥三號精準(zhǔn)落月的功勛產(chǎn)品。而且，相比嫦娥三號使用的三軸加速度計，嫦娥五號飛行試驗器“敏感精靈”加速度計測量精度提升了兩成，溫度工作范圍提高了一倍。預(yù)計未來傳感器市場的主要增長將來自于無線傳感器、微系統(tǒng)傳感器、生物傳感器等新興傳感器。

廊坊市航新儀表有限公司成立于2006年，其前身華航精密機(jī)械廠隸屬于北華航天工業(yè)學(xué)院。主要生產(chǎn)石英撓性加速度計，同時開發(fā)民用撓性加速度計產(chǎn)品，具有較強(qiáng)的加工能力和豐富的組裝經(jīng)驗?？商峁y斜儀成套設(shè)備。我廠作為航天部規(guī)定的石英撓性加速度計生產(chǎn)廠家，該產(chǎn)品可準(zhǔn)確測量物體的加速度、水平傾角、地平線傾角等參數(shù)。本廠1995年，1998年兩次通過航天一分院704所質(zhì)量認(rèn)證和工藝評審認(rèn)證，2001年通過中國航天工業(yè)總公司產(chǎn)品質(zhì)量認(rèn)證。2005年通過航天部用產(chǎn)品質(zhì)量認(rèn)證。我公司產(chǎn)品在石油鉆采，磁懸浮列車及其他地面設(shè)備也得到廣泛且良好的應(yīng)用。嫦娥四號搭載著眾多的科學(xué)儀器，安裝于其體內(nèi)的近百只自主可控“晶體元器件”，作為嫦娥四號中電子設(shè)備的心臟，穩(wěn)住了嫦娥飛行的脈搏，不但助力嫦娥精準(zhǔn)奔月和落月，也保障了她能及時準(zhǔn)確和地球“報平安”。

石英撓性加速度計：

MQA——小型化

MQR——高溫型小型化

LQA——普通型

要產(chǎn)品有：石英撓性加速度計,高、中、低檔石英撓性加速度計Ф25.4×31mm，具有I/F轉(zhuǎn)換的數(shù)字石英撓性加速度計Ф25.4×42mm，高抗振（20g）石英撓性加速度計，大量程（90g）石英撓性加速度計，小型化石英撓性加速度計Ф18.2×19mm，精度為±0.1℃的溫控電路，高、中、低精度的I/F轉(zhuǎn)換電路，加速度計組合等。由于具有獨特的優(yōu)良特性，石英玻璃在軍事應(yīng)用領(lǐng)域一直占有很重要的位置。