石英撓性加速度計(jì)發(fā)展小型化高溫型，小型化，普通型，石英撓性加速度計(jì)是一種力平衡式傳感器，它將輸入加速度轉(zhuǎn)換成其撓性擺片的微小位移，并用反饋力加以平衡。3軸石英撓性加速度計(jì)由于采用了力反饋回路，使這種撓性加速度計(jì)具有精度高，抗干擾能力強(qiáng)的特點(diǎn)。石英撓性加速度計(jì)可應(yīng)用于各種線加速度、振動加速度的測量，經(jīng)轉(zhuǎn)換后可應(yīng)用于速度、距離、角速度、角位移等參數(shù)測量。

石英撓性加速度計(jì)是測量線加速度的高精度傳感器,在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中具有重要的作用。石英撓性加速度計(jì)的高精度信號處理是基于力矩平衡原理、采用伺服回路實(shí)現(xiàn),伺服回路的性能是制約石英撓性加速度計(jì)性能提高的關(guān)鍵因素之一。 現(xiàn)有技術(shù)方案中,混合集成式模擬伺服回路因集成電路工藝問題,精度較低;分立元件式伺服回路集成度低,傳輸電容信號、極易受寄生電容影響,實(shí)用性較低。3軸石英撓性加速度計(jì)工作原理介紹加速度是一種用來反映物體在運(yùn)動過程中的速度變化狀態(tài)的物理量，其無法直接測量，當(dāng)前的加速度傳感器（加速度計(jì)）采用間接測量以及力的平衡等技術(shù)來獲取物體的加速度。加速度傳感器的工作原理基于牛頓第二運(yùn)動定律:作用于物體上的力等于該物體的質(zhì)量乘以加速度。

3軸石英撓性加速度計(jì)是用撓性支承技術(shù)所以稱為石英撓性加速度傳感器，且其結(jié)構(gòu)與工藝與之野夫式的結(jié)果大大的簡化了。石英撓性加速度計(jì)是測量線加速度的高精度傳感器,在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中具有重要的作用。石英撓性加速度計(jì)屬于單軸重力加速度計(jì)，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。目前這種石英撓性加速度計(jì)已廣泛應(yīng)用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。