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真空泵配件中泵油的光滑性    摩擦面的磨擦磨損、外表疲倦磨損以及腐蝕磨損等，都與光滑條件有關(guān)。表現(xiàn)佳的泵油有利于抑止腐蝕磨損；能夠有效地減輕粘著磨損和外表疲倦磨損；流體光滑劑對摩擦面具有清洗作用，也可減輕磨擦磨損。降低摩擦阻力以節(jié)約能源，減少磨損，以延長機械壽命。

良好的抗腐蝕性與抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發(fā)生化學(xué)變化，腐蝕泵內(nèi)金屬零件。另外，吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性（水分離性能）。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。

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壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。

由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進(jìn)行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。

吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。