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廢氣處理塔體的上部為除霧段，氣體中夾住的吸收液霧滴在此清除，處理后的清潔空氣從廢氣凈化塔的上端排氣管排出到大氣中。廢氣收集-活性炭吸附塔-鼓風(fēng)機(jī)-達(dá)標(biāo)排放?；钚蕴课剿挠推犰F凈化器由二級(jí)干式過濾器、一級(jí)油漆霧過濾棉和一級(jí)過濾器構(gòu)成。漆霧過濾棉主要過濾從干式過濾器中逃脫的微粒子和進(jìn)一步分離漆霧中的稀釋劑。過濾器主要分離顆粒物，使顆粒物凈化效率達(dá)到99%以上。

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有機(jī)廢氣主要來源于光刻、顯影、蝕刻和擴(kuò)散等工序，在這些工序中用有機(jī)溶液(如)清洗晶片表面，揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來源之一:同時(shí)，在光刻、蝕刻等過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發(fā)的，如醋酸丁酯等有毒廢氣主要來源于晶體外延、干法蝕刻和CVD等工序，在這些工序中應(yīng)用(SiH4)、磷烷(PH3)、四氟化碳(CF4)、、三氯化硼等多種高純度特殊氣體處理晶體，部分特殊氣體具有性、窒息性和腐蝕性。

VOCs(揮發(fā)性有機(jī)物)與地面附近臭氧的生成密切相關(guān)，不僅危害人體健康，還與空氣中的氮氧化物產(chǎn)生物理化學(xué)反應(yīng)，生成臭氧和PM2.5，是光化學(xué)煙霧、煙霧的重要原因。VOC有什么危害？VOC是許多不同產(chǎn)品散發(fā)的有機(jī)氣體，也稱為碳?xì)浠衔铩OC蒸發(fā)是由足夠的壓力引起的。常見的室內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)化合物來源于裝修建材、地毯、打印機(jī)、家具、涂料稀釋劑、膠水、化妝品和一些噴霧劑，以及塑料制品。

VOCs管理必須實(shí)施一企一策1.明確污染環(huán)節(jié)，實(shí)施分類管理，根據(jù)行業(yè)、企業(yè)、污染生產(chǎn)技術(shù)不同，VOCs排放特征不同，我們根據(jù)你的實(shí)際生產(chǎn)排放狀況和污染狀況，采用不同的管理技術(shù)2.重視技術(shù)細(xì)節(jié)對(duì)不同行業(yè)企業(yè)，采用不同的廢氣收集方式，廢氣處理技術(shù)，確保適合你的企業(yè)3.本質(zhì)上，VOCs的生產(chǎn)專注于VOCS管理，堅(jiān)持源頭收集、過程管理，兼顧末端防治理的全過程，廢氣處理技術(shù)，確保適合你的企業(yè)3.本質(zhì)上，VOCS的生產(chǎn)作為一個(gè)企業(yè)，我們應(yīng)該選擇那些齊全、施工案例多、行業(yè)聲譽(yù)好的VOCs管理廠家進(jìn)行管理。