廢氣處理設備惰性氣體雖然沒有危險性，但大量惰性氣體集聚，會使周圍氧含量減少，從而使人窒息。在室外適當?shù)牡胤脚欧?。直接燃燒法：利用燃氣或燃油等輔助燃料燃燒，將混合氣體加熱，使有害物質(zhì)在高溫作用下分解為無害物質(zhì)；本法工藝簡單、投資小，適用于高濃度、小風量的廢氣，但對安全技術、操作要求較高。直接吸附法：有機廢氣經(jīng)活性炭吸附，可達95%以上的凈化率，設備簡單、投資小，但活性炭更換頻繁，增加了裝卸、運輸、更換等工作程序，導致運行費用增加。

吸附-回收法：用纖維活性炭吸附有機廢氣，在接近飽和后用過熱水蒸汽反吹，進行脫附再生；本法要求提供必要的蒸汽量。助燃氣體的治理：將黏著在容器閥門上或使用器具上的粉末、石油類、油脂類及可燃性物質(zhì)，底清除干凈后，方可進行助燃氣的處理。目前，臭氣的治理方法主要有：物理法、燃燒法、化學氧化法、吸收法、生物法等，而“等離子體法“開辟了一條臭氣治理方法的新途徑。

催化燃燒法：把廢氣加熱經(jīng)催化燃燒轉(zhuǎn)化成無害無臭的二氧化碳和水；本法起燃溫度低、節(jié)能、凈化率高、操作方便、占地面積少、投資較大，適用于高溫或高濃度的有機廢氣?；钚蕴渴侵卫碛袡C廢氣使用多的方法，對苯類廢氣具有良好的吸附性能，但對烴類廢氣吸附性較差。主要缺點是運行成本較高，不適合于濕度大的環(huán)境。通過活性炭吸附廢氣，當吸附飽和后，活性炭脫附再生，將廢氣吹脫后催化燃燒，轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)，再生后的活性炭繼續(xù)使用。當活性炭再生到一定次數(shù)后，吸附容量明顯下降，則需要再生或更新活性炭。