回收法能夠在污染控制的同時(shí)實(shí)現(xiàn)資源的循環(huán)利用，是一種更具有開發(fā)潛力的技術(shù)方法。然而，任何一種VOCs回收處理技術(shù)本身都各有利弊，使用條件也有較大差異。例如，吸附法處理低濃度VOCs效果雖好，但是對于高濃度廢氣的處理卻可能存在熱效應(yīng)高、吸附劑堵塞或二次污染等問題;而冷凝法則更適宜于處理高濃度VOCs，對于低濃度廢氣的處理效果較差、設(shè)備成本較高。因此，為i大程度地實(shí)現(xiàn)低成本、率的VOCs處理目的，需開發(fā)廢氣處理的集成工藝，將不同的VOCs回收處理技術(shù)通過一定的方法組合起來，使之優(yōu)勢互補(bǔ)、各盡其用，以實(shí)現(xiàn)低成本和高成效的雙贏。實(shí)現(xiàn)該過程的設(shè)備稱為除塵器，氣態(tài)污染物種類繁多，特點(diǎn)各異，因此采用的凈化方法也不同，常用的方法有吸收法、吸附法、催化法、燃燒法、冷凝法、膜分離法、電子束照射凈化法和生物凈化法等。

RTO蓄熱式焚燒爐

　　排放自工藝含VOCs的廢氣進(jìn)入雙槽RTO，三向切換風(fēng)閥將此廢氣導(dǎo)入RTO的蓄熱槽而預(yù)熱此廢氣，含污染的廢氣被蓄熱陶塊漸漸地加熱后進(jìn)入燃燒室，VOCs在燃燒室被氧化而放出熱能于第二蓄熱槽中之陶塊，用以減少輔助燃料的消耗。陶塊被加熱，燃燒氧化后的干凈氣體逐漸降低溫度，因此出口溫度略高于RTO入口溫度。三向切換風(fēng)閥切換改變RTO出口/入口溫度。如果VOCs濃度夠高，所放出的熱能足夠時(shí)，RTO即不需燃料。例如RTO熱回收效率為95%時(shí)，RTO出口僅較入口溫度高25℃而已。缺點(diǎn)是處理設(shè)備龐大，流程復(fù)雜，當(dāng)廢氣中含有膠粒物質(zhì)或其他雜質(zhì)時(shí)，吸附劑易失效。

廢氣是指人類在生產(chǎn)和生活過程中排放的有毒有害氣體，不經(jīng)處理直接排放到大氣中，會嚴(yán)重污染環(huán)境，影響人體健康。眾所周知，有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)由以下幾個(gè)環(huán)節(jié)組成：始端收集 廢氣輸送 雜質(zhì)去除 VOC去除。始端收集是指各種集氣蓋、柜式工作臺、吸氣口等;廢氣輸送是指風(fēng)管系統(tǒng)和連接到其上的風(fēng)機(jī)和風(fēng)閥。操作時(shí)含VOCs的廢氣用系統(tǒng)風(fēng)機(jī)導(dǎo)入系統(tǒng)內(nèi)的換熱器，廢氣經(jīng)由換熱器管側(cè)(Tubeside)而被加熱后，再通過燃燒器，這時(shí)廢氣已被加熱至催化分解溫度，再通過催化劑床，催化分解會釋放熱能，而VOCs被分解為二氧化碳及水氣。

1、集中罩

　　集氣罩是用來捕集污染空氣的，其性能對凈化系統(tǒng)的技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)有直接的影響。由于污染源設(shè)備結(jié)構(gòu)和生產(chǎn)操作工藝的不同、集氣罩的形式是多種多樣的。

電子行業(yè)廢氣危害性：

電子行業(yè)廢氣中含有大量的有害物質(zhì)，如果不對這些廢氣處理的話，當(dāng)含有害物質(zhì)漂浮在空氣，不但對周邊的環(huán)境造成污染還會危及人類的身體健康，特別是在電子廠上班的員工，如果長期呼吸這類氣體，會對員工肺部有很大影響，造成各種疾病。

電子行業(yè)廢氣治理方法：

針對電子行業(yè)VOCs排放特點(diǎn)采用相應(yīng)末端治理技術(shù)，主要還是吸附法、焚燒法。

吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強(qiáng)的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達(dá)到90%以上。