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發(fā)布時(shí)間:2020-12-03 07:54  











 磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過(guò)程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過(guò)程,和靶原子碰撞,把部分動(dòng)量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級(jí)聯(lián)過(guò)程。在這種級(jí)聯(lián)過(guò)程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動(dòng)的足夠動(dòng)量,離開靶被濺射出來(lái)。

種類

  磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應(yīng)用對(duì)象。但有一共同點(diǎn):利用磁場(chǎng)與電子交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行,從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向靶面從而濺射出靶材。

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  靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結(jié)合力強(qiáng)。平衡靶源多用于半導(dǎo)體光學(xué)膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場(chǎng)位形分布不同,大致可分為平衡態(tài)和非平衡磁控陰極。平衡態(tài)磁控陰極內(nèi)外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對(duì)較高,但由于電子沿磁力線運(yùn)動(dòng)主要閉合于靶面,基片區(qū)域所受離子轟擊較小.非平衡磁控濺射技術(shù)概念,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內(nèi)磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區(qū)域,從而部分電子可以沿著磁力線擴(kuò)展到基片,增加基片區(qū)域的等離子體密度和氣體電離率.不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場(chǎng)特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)。但旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)需要旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),同時(shí)濺射速率要減小。旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)多用于大型或貴重靶。如半導(dǎo)體膜濺射。對(duì)于小型設(shè)備和一般工業(yè)設(shè)備,多用磁場(chǎng)靜止靶源。


用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點(diǎn)火和濺射很方便。這是因?yàn)榘校帢O),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強(qiáng)的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個(gè)電容。但高頻磁控濺射電源昂貴,濺射速率很小,同時(shí)接地技術(shù)很復(fù)雜,因而難大規(guī)模采用。為解決此問(wèn)題,發(fā)明了磁控反應(yīng)濺射。就是用金屬靶,加入氬氣和反應(yīng)氣體如氮?dú)饣蜓鯕?。?dāng)金屬靶材撞向零件時(shí)由于能量轉(zhuǎn)化,與反應(yīng)氣體化合生成氮化物或氧化物。

  磁控反應(yīng)濺射絕緣體看似容易,而實(shí)際操作困難。主要問(wèn)題是反應(yīng)不光發(fā)生在零件表面,也發(fā)生在陽(yáng)極,真空腔體表面,以及靶源表面。從而引起滅火,靶源和工件表面起弧等。德國(guó)萊寶發(fā)明的孿生靶源技術(shù),很好的解決了這個(gè)問(wèn)題。其原理是一對(duì)靶源互相為陰陽(yáng)極,從而消除陽(yáng)極表面氧化或氮化。

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  冷卻是一切源(磁控,多弧,離子)所必需,因?yàn)槟芰亢艽笠徊糠洲D(zhuǎn)為熱量,若無(wú)冷卻或冷卻不足,這種熱量將使靶源溫度達(dá)一千度以上從而溶化整個(gè)靶源。


發(fā)動(dòng)機(jī)好比是汽車的”心臟“,而活塞則可以理解為是發(fā)動(dòng)機(jī)的“中樞”,除了身處惡劣的工作環(huán)境外,它還是發(fā)動(dòng)機(jī)中最忙碌的一個(gè),不斷的進(jìn)行著從下止點(diǎn)到上止點(diǎn)、從上止點(diǎn)到下止點(diǎn)的往復(fù)運(yùn)動(dòng),吸氣、壓縮、做工、排氣......活塞的內(nèi)部為掏空設(shè)計(jì),更像是一個(gè)帽子,兩端的圓孔連接活塞銷,活塞銷連接連桿小頭,連厚膜電阻片,汽車油量傳感器電阻片,LED厚膜電路,臭氧發(fā)生器陶瓷片,電動(dòng)工具調(diào)速電路,FPC線路板,貴金屬電刷片,除靜電高壓電阻,定影器加熱片,節(jié)氣位置傳感器電阻片,電源模塊厚膜電路,電動(dòng)工具開關(guān)調(diào)速電路,陶瓷線路板,六元合金絲電刷片,陶瓷加熱片,汽車空調(diào)調(diào)節(jié)器電阻片,功能厚膜電路,PCB線路板,五金沖壓電刷片,不銹鋼加熱片,油門踏板傳感器電阻片,射頻天線厚膜電路,機(jī)油壓力傳感器厚膜電路,汽車電阻片,機(jī)油壓力傳感器厚膜電路,導(dǎo)電塑料電阻片,摩托車油量傳感器電阻片,油量傳感器電阻片,電位器電阻片,碳膜電阻片桿大頭則與曲軸相連,將活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為曲軸的圓周運(yùn)動(dòng)。

 在離合器從分離到接合的過(guò)程中,摩擦片與飛輪和壓盤之間要發(fā)生摩擦,產(chǎn)生大量熱量。這些熱量需要及時(shí)散出,以避免摩擦片因溫度過(guò)高而損壞,所以在離合器蓋上都設(shè)有窗口,有的還制有導(dǎo)風(fēng)片,以加強(qiáng)其內(nèi)部的通風(fēng)散熱。

   摩擦離合器的最常見的壓緊結(jié)構(gòu)就是螺旋彈簧和膜片彈簧,膜片彈簧離合器有推式和拉式兩種結(jié)構(gòu)形式。而螺旋彈簧離合器根據(jù)彈簧壓在壓盤上的方式分為周布彈簧和中央彈簧式。

   離合器的操縱機(jī)構(gòu)分為機(jī)械式操縱機(jī)構(gòu),液壓式操縱機(jī)構(gòu),為了減少所需的離合器踏板力,又不致因傳動(dòng)裝置的傳動(dòng)比過(guò)大而加大踏板行程,在一些中重型貨車和某些轎車上采用了離合器踏板的助力裝置。另外還有一種氣壓助力式離合器操縱機(jī)構(gòu)利用發(fā)動(dòng)機(jī)帶動(dòng)空氣壓縮機(jī)作為主要的操縱能源,駕駛員的肌體作為輔助的或后備的操縱能源,多與汽車的氣壓制動(dòng)系統(tǒng)或其他氣動(dòng)設(shè)備共用一套壓縮空氣源。

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