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用絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)等厚膜工藝在同一基片上制作無(wú)源網(wǎng)絡(luò),并在其上組裝分立的半導(dǎo)體器件芯片或單片集成電路或微型元件,再外加封裝而成的混合集成電路。厚膜混合集成電路是一種微型電子功能部件。
1.特點(diǎn)和應(yīng)用
與薄膜混合集成電路相比,厚膜混合集成電路的特點(diǎn)是設(shè)計(jì)更為靈活、工藝簡(jiǎn)便、成本低廉,特別適宜于多品種小批量生產(chǎn)。在電性能上,它能耐受較高的電壓、更大的功率和較大的電流。厚膜微波集成電路的工作頻率可以達(dá)到 4吉赫以上。它適用于各種電路,特別是消費(fèi)類和工業(yè)類電子產(chǎn)品用的模擬電路。帶厚膜網(wǎng)路的基片作為微型印制線路板已得到廣泛的應(yīng)用。
2.主要工藝
根據(jù)電路圖先劃分若干個(gè)功能部件圖,然后用平面布圖方法轉(zhuǎn)化成基片上的平面電路布置圖,再用照相制版方法制作出絲網(wǎng)印刷用的厚膜網(wǎng)路模板。厚膜混合集成電路最常用的基片是含量為96%和85%的氧化鋁陶瓷;當(dāng)要求導(dǎo)熱性特別好時(shí),則用氧化鈹陶瓷?;暮穸葹?.25毫米,尺寸為35×35~50×50毫米。在基片上制造厚膜網(wǎng)路的主要工藝是印刷、燒結(jié)和調(diào)阻。常用的印刷方法是絲網(wǎng)印刷。
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絲網(wǎng)印刷的工藝過(guò)程是先把絲網(wǎng)固定在印刷機(jī)框架上,再將模版貼在絲網(wǎng)上;或者在絲網(wǎng)上涂感光膠,直接在上面制造模版,然后在網(wǎng)下放上基片,把厚膜漿料倒在絲網(wǎng)上,用刮板把漿料壓入網(wǎng)孔,漏印在基片上,形成所需要的厚膜圖形。常用絲網(wǎng)有不銹鋼網(wǎng)和尼龍網(wǎng),有時(shí)也用聚四氟乙烯網(wǎng)。
在厚膜導(dǎo)體漿料中,除了粒度合適的金屬粉或金屬有機(jī)化合物外,還有粒度和形狀都適宜的玻璃粉或金屬氧化物,以及懸浮固體微粒的有機(jī)載體。玻璃可把金屬粉牢固地粘結(jié)在基片上,形成厚膜導(dǎo)體。常用無(wú)堿玻璃,如硼硅鉛玻璃。
厚膜電阻是厚膜集成電路中發(fā)展最早、制造水平一種厚膜元件,可以制造各種電阻。對(duì)厚膜電阻的主要要求是電阻率大、阻值溫度系數(shù)小、穩(wěn)定性好。
與導(dǎo)體漿料相同,電阻漿料也有三種成分:導(dǎo)體、玻璃和載體。但是,它的導(dǎo)體通常不是金屬元素,而是金屬元素的化合物,或者是金屬元素與其氧化物的復(fù)合物。常用的漿料有鉑基、釕基和鈀基電阻漿料。
厚膜介質(zhì)用來(lái)制造微型厚膜電容器。對(duì)它的基本要求是介電常數(shù)大、損耗角正切值小、絕緣電阻大、耐壓高、穩(wěn)定可靠。介質(zhì)漿料是由低熔玻璃和陶瓷粉粒均勻地懸浮于有機(jī)載體中而制成的。常用的陶瓷是鋇、鍶、鈣的鈦酸鹽陶瓷。改變玻璃和陶瓷的相對(duì)含量或者陶瓷的成分,可以得到具有各種性能的介質(zhì)厚膜,以滿足制造各種厚膜電容器的需要。
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厚膜絕緣用作多層布線和交叉線的絕緣層。對(duì)它的要求是絕緣電阻高、介電常數(shù)小,并且線膨脹系數(shù)能與其他膜層相匹配。
?體;color:black;mso-font-kerning:0pt'> 對(duì)于1/8W以上的功率電阻,結(jié)構(gòu)形式如圖5:
在絕緣漿料中常用的固體粉粒是無(wú)堿玻璃和陶瓷粉粒。
傳統(tǒng)的汽車空調(diào)調(diào)節(jié)器采用拉線的方式進(jìn)行,新一代的空調(diào)調(diào)節(jié)器采用指數(shù)線性的傳感器進(jìn)行調(diào)節(jié)控制,該產(chǎn)品采用新一代的導(dǎo)電塑料為電阻基體,采用高精度的電阻印刷技術(shù)得到指數(shù)線性的輸出性能,產(chǎn)品具體圖形如下:
汽車空調(diào)調(diào)節(jié)器 網(wǎng)絡(luò)排阻,印刷,電子尺電阻板,厚膜電容,噴碼機(jī)專用不銹鋼加熱片,濕敏電阻片,叉車踏板傳感器電阻片,單列直插式網(wǎng)絡(luò)排容,FR4 電阻板, 無(wú)接觸式電阻傳感器,印刷加工,厚膜芯片.游戲機(jī)控制開關(guān),單列直插式網(wǎng)絡(luò)排阻,平面印刷,陶瓷印銀,微波爐專用高壓電阻,貼片電容,薄膜電阻片,汽車檔位陶瓷片,鍵盤印刷,陶瓷鍍金,復(fù)印機(jī)陶瓷加熱片,貼片電阻,薄膜電阻器,PCB印碳,打印機(jī)陶瓷加熱片,濕度傳感器,擾性線路板,NTC熱敏電阻,電位計(jì)傳感器,叉車手搖柄傳感器電阻片,貼片電感
●電阻R的寬度、厚度應(yīng)均勻,使電刷在上面滑動(dòng)時(shí),所載取的電阻值與角度成指數(shù)線性關(guān)系,線性偏差≤1%。