Parylene是這些組裝方式的防護材料，5微米厚就能耐1000V以上直流擊穿電壓，因此在微機電系統(tǒng)中，Parylene是一的電介質(zhì)材料。同時，對傳感器的防酸、堿和及對水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有的阻隔防護能力。  

Parylene活性分子的良好穿透能力在元件內(nèi)部，底部、周圍形成無氣隙的防護層。優(yōu)良的防潮、防化學(xué)品和耐溶劑性能優(yōu)良的介電絕緣性能、微米級的精密制作、極薄的膜層仍具極優(yōu)的電性能、物理機械性能和防腐蝕功能。

真空PVD鍍膜基本步驟 

 前處理工藝褪膜、噴砂、拋光、鈍化、清洗、裝夾 鍍膜工藝抽真空、加熱烘烤、漏率測試、轟擊清洗、鍍膜、冷卻出爐 后處理工藝 

清洗：確保鍍膜前產(chǎn)品表面的清潔，越新鮮的表面，越能保證鍍膜質(zhì)量；

抽真空：將真空室內(nèi)的殘余氣體抽走加熱烘烤：爐體和工件同時加熱，加速殘余氣體的釋放壓升率測試：測試爐體的漏氣率和放氣率轟擊清洗：去除工件表面的雜志，露出新鮮表面鍍膜：沉積膜層冷卻：避免工件氧化變色

真空鍍膜的方法很多，計有：(1)真空蒸鍍：將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室，抽空后將膜料加熱到高溫，使蒸氣達到約13.3Pa而使蒸氣分子飛到基體表面，凝結(jié)而成薄膜。(2)陰極濺射鍍：將需鍍膜的基體放在陰極對面，把惰性氣體(如)通入已抽空的室內(nèi)，保持壓強約1.33～13.3Pa，然后將陰極接上2000V的直流電源，便激發(fā)輝光放電，帶正電的離子撞擊陰極，使其射出原子，濺射出的原子通過惰性氣氛沉積到基體上形成膜。(3)化學(xué)氣相沉積：通過熱分解所選定的金屬化合物或有機化合物，獲得沉積薄膜的過程。聚對二甲苯價格加工在影響產(chǎn)品質(zhì)量的五大因素〔操作者、設(shè)備、材料、工藝方法及生產(chǎn)環(huán)境)中，人是位的。(4)離子鍍：實質(zhì)上離子鍍系真空蒸鍍和陰極濺射鍍的有機結(jié)合，兼有兩者的工藝特點。表6-9列出了各種鍍膜方法的優(yōu)缺點。