真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

工業(yè)環(huán)境中的粉塵是以粉狀體、眼無(wú)題、粉塵來(lái)區(qū)分的。粉狀體是粉末或固體顆粒的集合或分散狀態(tài)的物質(zhì)。所謂粉末是指微小的固體顆粒的集合，而顆粒是指能夠一個(gè)一個(gè)計(jì)數(shù)的微小物質(zhì)。煙霧體是以固體或液體的微小顆粒呈浮狀態(tài)存在于氣體中的物質(zhì)體系。普遍的是在太陽(yáng)光下看手機(jī)屏的字，由于反射光透不強(qiáng)，屏幕模糊，這需要屏幕的光學(xué)鍍膜來(lái)達(dá)到透射清晰效果。物質(zhì)無(wú)論是固體還是液體，凡是呈顆粒狀態(tài)均可統(tǒng)稱(chēng)為塵粒。以塵粒直徑的大小來(lái)確定空氣清潔度的標(biāo)準(zhǔn)，從而定制出潔凈室的等級(jí)。不僅適合于有潔凈要求的工業(yè)部門(mén)，也適合于真空對(duì)潔凈環(huán)境的要求。

Parylene是這些組裝方式的防護(hù)材料，5微米厚就能耐1000V以上直流擊穿電壓，因此在微機(jī)電系統(tǒng)中，Parylene是一的電介質(zhì)材料。同時(shí)，對(duì)傳感器的防酸、堿和及對(duì)水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有的阻隔防護(hù)能力。  

Parylene活性分子的良好穿透能力在元件內(nèi)部，底部、周?chē)纬蔁o(wú)氣隙的防護(hù)層。優(yōu)良的防潮、防化學(xué)品和耐溶劑性能優(yōu)良的介電絕緣性能、微米級(jí)的精密制作、極薄的膜層仍具極優(yōu)的電性能、物理機(jī)械性能和防腐蝕功能。

化學(xué)氣相沉積技術(shù)加工過(guò)程中的常見(jiàn)故障排除

化學(xué)氣相沉積技術(shù)加工工藝流程比較長(zhǎng)、工序繁多，發(fā)生故障的影響因素會(huì)很多。如化學(xué)氣相沉積技術(shù)前處理不凈、清洗不良、電解液成分失調(diào)及雜質(zhì)污染、生產(chǎn)環(huán)境不良等。PVD鍍膜而故障的原因往往存在于以上各影響因素的一兩個(gè)細(xì)節(jié)之中。

化學(xué)氣相沉積技術(shù)加工在影響產(chǎn)品質(zhì)量的五大因素〔操作者、設(shè)備、材料、工藝方法及生產(chǎn)環(huán)境)中，人是位的。化學(xué)氣相沉積技術(shù)故障的發(fā)生都與操作工專(zhuān)業(yè)技能和工作責(zé)任心有關(guān)?；瘜W(xué)氣相沉積技術(shù)生產(chǎn)管理人員對(duì)操作工指導(dǎo)和監(jiān)督不力，這些在PVD鍍膜企業(yè)較普遍存在的狀況,化學(xué)氣相沉積技術(shù)使得故障在所難免。后者是采用化學(xué)還原法，必須把膜材配制成溶液，并能迅速參加還原反應(yīng)，這種鍍膜方法不僅薄膜的結(jié)合強(qiáng)度差，而且鍍膜既不均勻也不易控制，同時(shí)還會(huì)產(chǎn)生大量的廢液，造成嚴(yán)重的污染。要減少化學(xué)氣相沉積技術(shù)生產(chǎn)故障，提高化學(xué)氣相沉積技術(shù)從業(yè)人員的專(zhuān)業(yè)技能和工作責(zé)任心是十分重要的。