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真空壓力法氦質(zhì)譜檢漏
采用真空壓力法檢漏時(shí),需要將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi),真空密封室與輔助抽空系統(tǒng)和檢漏儀相連,被檢產(chǎn)品的充氣接口通過連接管道引出真空密封室后,再與氦氣源相連,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí),氦氣就會(huì)通過漏孔進(jìn)入真空密封室,再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會(huì)因?yàn)楦鞣N原因而產(chǎn)生一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞,所以在元器件封裝之后,就需要采取某些方法來檢測(cè)這些小洞的存在與否。
真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,能實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測(cè),反映被檢件的真實(shí)泄漏狀態(tài)。
真空壓力法的缺點(diǎn)是檢漏系統(tǒng)復(fù)雜,需要根據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計(jì)真空密封室。這里需要說明在檢漏過程要求確保充氣管道接口無泄漏,或者采取特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。
真空壓力法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)有GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》,主要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品,如電磁閥、高壓充氣管道、推進(jìn)劑貯箱、天線、應(yīng)答機(jī)、整星產(chǎn)品等。
背壓法氦質(zhì)譜檢漏
采用背壓法檢漏時(shí),首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中,浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天,如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔,氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中,使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品,將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi),被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過漏孔泄漏到真空容器,再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。正壓法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3089-1999《氦質(zhì)譜正壓檢漏方法》、QJ2862-1996《壓力容器焊縫氦質(zhì)譜吸槍罩盒檢漏試驗(yàn)方法》,主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏,如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率,需要通過換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。
背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高,能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè),可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。
背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導(dǎo)致加壓時(shí)間太長(zhǎng)。此外,每個(gè)測(cè)量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率,在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢,排除大漏的可能。
背壓法的檢漏標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3212-2005《氦質(zhì)譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗(yàn)方法方法112 密封試驗(yàn)》,主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。
檢漏氣體測(cè)試前切勿使用水槽試漏
檢漏氣體測(cè)試的漏孔通常非常微小或者是狹長(zhǎng)的毛細(xì)管,如果在檢漏氣體測(cè)試前將漏孔置于水槽中,這些漏孔或者毛細(xì)管則將被水堵塞或充滿,而堵在漏孔中的水因?yàn)楸砻鎻埩Φ脑颍瑫?huì)非常不易從小孔中驅(qū)逐,從而大大影響檢漏結(jié)果。解決這一問題的辦法,只能通過漫長(zhǎng)的干燥過程來排除這些水分。氦氣檢漏試驗(yàn)的方法:首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中,并加壓,讓氦氣通過小洞而進(jìn)入管殼中。
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