充氣開關柜檢漏設備  

由于工件內(nèi)外壓差不能大于0.04Mpa,抽空過程中系統(tǒng)可通過電氣控制部分控制工件內(nèi)外基本等壓，如果壓力差超過設定值，則抽速較快的泵自動停止，等壓力差達到規(guī)定要求時，泵自動運行，直至真空箱和工件內(nèi)的真空度均達到規(guī)定值。系統(tǒng)自動記錄、存儲抽真空、充氦、氦檢過程中的工件和真空箱的壓力變化情況。自動判斷，并對應放置（即不合格品放于不合格線，合格品放于合格線）9。系統(tǒng)同時具有自我診斷與報警功能，顯示各種故障信息。

電氣系統(tǒng)同時具有自我效準、連鎖保護和報警功能，以及急停按鈕，確保系統(tǒng)本身運行可靠安全和被檢工件的安全。為了保證工件的安全，系統(tǒng)中采用壓力和真空傳感器同時使用的方式，以防止傳感器失效而對系統(tǒng)造成的傷害。

結構主要采用電腦觸摸屏的集散式半導體模塊控制系統(tǒng)，分散與集中控制相結合，層次分明、成本低廉、維護方便。上位機采用工控機，用于向PID發(fā)布指令、系統(tǒng)運行狀態(tài)集中管理。

控制系統(tǒng)同時具有自我診斷與報警功能，顯示各種故障信息?？刂葡到y(tǒng)同時具有自我校準、連鎖保護和報警功能，確保系統(tǒng)本身運行安全可靠和被檢工件的安全。

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氦氣檢漏設備的特點和優(yōu)點

說到氦氣檢漏設備的特點，首先，我們還需要注意核心部件分子泵，使用原裝進口的檢漏儀專用的分子泵。美國AD放大器用于有效降低氦氣檢漏設備的噪聲并提高氦氣檢漏設備的靈敏度。 180度非均勻磁場質(zhì)譜儀設計用于聚焦和高靈敏度。

氦氣檢漏設備的檢漏口具有較高的耐壓性，檢漏率范圍廣，可檢出較大的泄漏和較小的泄漏。 離子源燈絲采用氧化釔銥金絲，壽命長，靈敏度高。 獨特的三屏切換，信息替換更豐富，檢漏更方便； 它具有快速氦氣清洗功能和快速響應功能。

氦氣檢漏設備可實現(xiàn)一鍵歸零； 采用全自動液晶觸摸彩屏顯示，實現(xiàn)智能自動化，操作更方便，簡單可靠； 中英文菜單，菜單可以一鍵實現(xiàn)，實際使用效果突出。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結構

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。今天和大家分享的是氦氣檢漏的性能指標，想了解更多產(chǎn)品信息您可撥打圖片上的電話進行咨詢。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。子檢測器的作用是手機質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。空系統(tǒng)-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。C2：若B2檢測通過，真空箱內(nèi)充入大氣，同時工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。按照真空系統(tǒng)的不同結構，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。

機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。