氦氣檢漏的基本功能（部分功能可選配）

1、對(duì)被檢工件充注高壓氮?dú)饣驂嚎s空氣進(jìn)行耐壓強(qiáng)度和大漏氣密性檢驗(yàn)；

2、對(duì)被檢工件抽真空；

3、對(duì)被檢工件充注氦氣；

4、真空箱法氦質(zhì)譜檢測(cè)，自動(dòng)判斷工件漏率合格與不合格；

5、回收并循環(huán)使用氦氣；

6、如果氦氣浪費(fèi)嚴(yán)重，可以將使用過(guò)程中濃度不合格的氦氣進(jìn)行提純

7、PLC控制，觸摸屏操作，自動(dòng)檢測(cè)。

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氦質(zhì)譜檢漏常見(jiàn)問(wèn)題

氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測(cè)儀器，那么在使用過(guò)程中我們又遇到哪些問(wèn)題呢？今天科創(chuàng)鼎新的小編就和大家來(lái)一起總結(jié)一下！

一、為什么用氦氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎？（1）在空氣中含量低(只有5 ppm)，環(huán)境本底低

（2）惰性氣體不易1燃，不易1爆對(duì)環(huán)境沒(méi)有污染，不與其他物質(zhì)反應(yīng)，可以混合到任意濃度

（3）無(wú)毒，可以用在食品工業(yè)

（4）在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分

（5）比空氣輕，運(yùn)動(dòng)速度快

（6）氣體分子很小，可以穿過(guò)微小的泄漏孔

（7）其它氣體也可以

二、噴氦檢漏的注意事項(xiàng)。

（1）被測(cè)系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔，干燥，無(wú)油

（2）如果測(cè)量條件發(fā)生變化（溫度），需要重新對(duì)檢漏儀做內(nèi)部較準(zhǔn)

（3）氦氣比空氣輕，噴氦法檢漏應(yīng)注意方向

（4）盡量不要使用密封脂（油脂會(huì)大量吸附氦氣）

（5）不要向環(huán)境釋放大量氦氣

（6）真實(shí)的漏率信號(hào)應(yīng)當(dāng)是快速上升的信號(hào)，相對(duì)緩慢下降的信號(hào)

三、漏率（leak rate）

在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。

注：采用國(guó)際單位制時(shí)，漏率單位為：Pa?m3/s。

科創(chuàng)真空擁有先進(jìn)的技術(shù)，我們都以質(zhì)量為本，信譽(yù)高，我們竭誠(chéng)歡迎廣大的顧客來(lái)公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對(duì)氦檢漏感興趣，歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線(xiàn)客服，或撥打咨詢(xún)電話(huà)。

真空箱式氦檢漏設(shè)備【驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)】

由于真空箱式氦檢漏系統(tǒng)是比較專(zhuān)業(yè)的設(shè)備，所以需要用戶(hù)進(jìn)行驗(yàn)收，以免后期使用過(guò)程中產(chǎn)生問(wèn)題，難以解決。首先是設(shè)備在運(yùn)往用戶(hù)工廠(chǎng)后根據(jù)技術(shù)協(xié)議逐條驗(yàn)收，之后進(jìn)行操作、維修等技術(shù)培訓(xùn)，驗(yàn)收合格后雙方簽字生效。2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。然后需方收到設(shè)備后應(yīng)及時(shí)對(duì)設(shè)備進(jìn)行驗(yàn)收，以免延期因保管出現(xiàn)的產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題。需要注意系統(tǒng)調(diào)試需要用測(cè)試工件。

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氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。系統(tǒng)自動(dòng)記錄、存儲(chǔ)抽真空、充氦、氦檢過(guò)程中的工件和真空箱的壓力變化情況。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類(lèi)離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。空系統(tǒng)-般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。然后將被檢工件內(nèi)的氦氣回收循環(huán)使用，向工件內(nèi)充入規(guī)定壓力的SF6工作氣體。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場(chǎng)的主品。

機(jī)械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒(méi)有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒(méi)有影響。在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間都是使用干泵檢漏儀。