電子氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格隨著電子消費(fèi)品的升級(jí)換代，產(chǎn)品制造尺寸越來(lái)越大，產(chǎn)品良率和缺陷控制越來(lái)越嚴(yán)格，整個(gè)電子工業(yè)界對(duì)電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來(lái)越苛刻。基本上工業(yè)界對(duì)電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標(biāo)，直接與分析儀器技術(shù)進(jìn)步帶來(lái)的較低檢測(cè)極限（直接關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可測(cè)到微米，而核凝結(jié)技術(shù)可達(dá)到微米。目前超大規(guī)模集成電路制造線寬已經(jīng)發(fā)展到納米，對(duì)于大宗氣體的純度都要求在級(jí)別，顆粒度控制直指分析儀器的下限。實(shí)驗(yàn)室超高亮度技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到以上，對(duì)于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于氨氣則釆用多級(jí)精餾生產(chǎn)技術(shù)指標(biāo)到達(dá)的白氨的氫氣需要采用先進(jìn)的鈀膜純化器提純至。

高純氣體在線精密過(guò)濾器的材質(zhì)種類選擇

目前高純氣體過(guò)濾基本都是國(guó)外的供應(yīng)商?？词呛?jiǎn)單，但是工藝和材質(zhì)要求是很高的。對(duì)于那高溫，耐壓，耐腐蝕，惰性要求之高，可以說(shuō)對(duì)過(guò)濾材料要求。用量大，要求很高，競(jìng)爭(zhēng)相對(duì)少，自然利潤(rùn)也很高。這就是很多過(guò)濾設(shè)備生產(chǎn)商摘得一顆明珠。

應(yīng)用：食品，電子，半導(dǎo)體制造，石油化工、太陽(yáng)能、液晶面板制造等行業(yè)。

過(guò)濾其外殼材質(zhì)：二次提純不銹鋼316L VAR不銹鋼或鎳過(guò)濾器外殼，EP表面電子拋光。

過(guò)濾介質(zhì)：不銹鋼，鎳合金，特氟龍PFA濾膜 ,，316L燒結(jié)不銹鋼、燒結(jié)金屬鎳多孔金屬過(guò)濾介質(zhì)，Hastelloy C-22燒結(jié)多孔金屬(哈氏合金)。

甲烷氣體的健康危害

侵入途徑：吸入。

健康危害：甲烷氣體對(duì)人基本無(wú)毒，但濃度過(guò)高時(shí)，使空氣中氧含量明顯降低，使人窒息。當(dāng)空氣中甲烷達(dá)25%-30%時(shí)，可引起頭疼、頭暈、乏力、注意力不集中、呼吸和心跳加速、共濟(jì)失調(diào)。若不及時(shí)遠(yuǎn)離，可致窒息。皮膚接觸液化的甲烷，可致冬傷。

甲烷氣體對(duì)環(huán)境可能有危害，對(duì)魚(yú)類和水體要給予特別注意。還應(yīng)特別注意對(duì)地表水、土壤、大氣和飲用水的污染。