高純氣體如何安全供氣？為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時突遇雷電阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發(fā)燃燒事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。6月16日，特種氣體入選國家《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2017年版）》。可燃氣體在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。各種可燃氣體管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應(yīng)的檢測口，以便在可燃氣體供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。

石化用特種氣體安全貯運：氣瓶露天使用時應(yīng)加以防護, 防止生銹和侵蝕, 庫存瓶要定期檢查, 色標(biāo)、合格證、泄漏等如不清楚、有疑問, 應(yīng)及時和廠家聯(lián)系, 分析確認后才可使用。焊接大厚度鋁及鋁合金時，采用Ar He混合氣體可改善焊縫熔深、減少氣孔和提高生產(chǎn)率。有專人負責(zé)管理, 驗收核實, 登記發(fā)放做到有帳可查，不管是倉庫還是使用場所, 空瓶與實瓶都應(yīng)分開放置, 并有明顯標(biāo)志。毒性氣體氣瓶和瓶內(nèi)氣體相互接觸能引起燃燒， 產(chǎn)生毒物的氣瓶應(yīng)分室存放, 并在附近設(shè)置防毒用具、滅火器材。另外氣體采購計劃按生產(chǎn)需要的實際情況盡量做到現(xiàn)購現(xiàn)用, 以防止使用過期鋼瓶, 同時可減少很多不安全因素。

在半導(dǎo)體體行業(yè)線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量的要求也越來越高。氣體島（氣化島）根據(jù)服務(wù)群體規(guī)模分為企業(yè)級和園區(qū)級，根據(jù)供氣成分分為合成氣型（CO H2、H2、CO）和工業(yè)燃氣型，依據(jù)服務(wù)行業(yè)又可分為化工型（煉油/煤化工/其它化工等）和其他工業(yè)型（陶瓷/建材/水泥等）。線寬下對超純氮氣的要求，高純氮氣（PN2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。（N2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管或光亮退火（BA）低碳（316L）不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。