我國產(chǎn)業(yè)發(fā)展和升級使得微電子、微機(jī)械、光學(xué)和現(xiàn)代超精密加工工業(yè)對檢測精度的要求越來越高，同時要求更大的檢測量程，而其他檢測方法難以勝任，只有激光干涉檢測技術(shù)可以在大量程內(nèi)達(dá)到較高的測量精度，所以在高端制造領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

在航空器的研制、試驗、生產(chǎn)過程中，運(yùn)用到大量的精密直線位移傳感器，激光干涉儀可以對這些傳感器進(jìn)行精準(zhǔn)的檢測

中圖儀器推出的SJ6000激光干涉儀，采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、多參數(shù)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)、高速數(shù)字信號處理系統(tǒng)等技術(shù)，通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。是校準(zhǔn)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)最常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器。

1、在數(shù)控機(jī)床檢定中的應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀可用于精密機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測量，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。軟件內(nèi)置10項常用機(jī)床檢驗標(biāo)準(zhǔn)。使用激光干涉儀檢測機(jī)床各項誤差并進(jìn)行修正是傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術(shù)，是大幅度提高數(shù)控機(jī)床的加工精度的關(guān)鍵措施。

數(shù)控機(jī)床軸定位精度、重復(fù)定位精度的檢測

2、在三坐標(biāo)檢測中的應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標(biāo)測量機(jī)的位移精度、直線度、垂直度。隨著當(dāng)代制造業(yè)對加工速度的要求提升，三坐標(biāo)測量機(jī)各結(jié)構(gòu)件由于高速運(yùn)行產(chǎn)生機(jī)構(gòu)變形，導(dǎo)致的動態(tài)誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標(biāo)測量機(jī)進(jìn)行靜態(tài)誤差、動態(tài)誤差測量和補(bǔ)償，對提升測量精度具有重要意義。

三坐標(biāo)線性精度、垂直度的檢測

3、在位移傳感器中的應(yīng)用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢，其特點是反應(yīng)速度快、測量精度高，是位移傳感器實現(xiàn)高精度校準(zhǔn)的重要手段。

傳感器線性精度的測量

4、與其他鏡組配合的應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀與不同光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)的測量，具有極高的精度和效率。

測長機(jī)線性精度、垂直度的測量

工業(yè)機(jī)器人標(biāo)定

汽車裝配與夾具定位

SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

技術(shù)線性測長精度：±0.5ppm(0~40℃)

激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm

分辨率：0.001um