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磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)的特點(diǎn)
(1)鋼件形變小因?yàn)殇摷韺觿蚍Q遮蓋輝光,溫度完整性好,能夠根據(jù)操縱輸出功率輸出來保持勻稱提溫。另一個(gè)陰極無心插柳相抵了滲人原素造成的規(guī)格擴(kuò)一整
(2)滲層的機(jī)構(gòu)和構(gòu)造易于控制根據(jù)調(diào)節(jié)加工工藝主要參數(shù),可獲得單相電或多相的滲層機(jī)構(gòu)
(3)鋼件不必額外清除陰極無心插柳能夠合理除去空氣氧化膜,清潔鋼件表層,一起真空泵解決無新生兒空氣氧化膜,這種都降低了額外機(jī)器設(shè)備和綜合工時(shí),減少了成本費(fèi)。
(4)防水層便捷不需滲的地區(qū)可簡易地遮掩起來,對(duì)自然環(huán)境綠色食品,零污染,勞動(dòng)者標(biāo)準(zhǔn)好。
(5)經(jīng)濟(jì)收益高,耗能小盡管原始機(jī)器設(shè)備項(xiàng)目投資很大,但加工工藝成本費(fèi)極低,是這種便宜的工程設(shè)計(jì)方式 。除此之外,離子轟擊滲擴(kuò)技術(shù)性易保持加工工藝全過程或滲層品質(zhì)的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),品質(zhì)可重復(fù)性好,可執(zhí)行性強(qiáng)。
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磁控濺射法定義是什么?
磁控濺射法是在高真空充入適量的Ar,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁) 之間施加幾百K 直流電壓,在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控型異常輝光放電,使Ar發(fā)生電離。Ar離子被陰極加速并轟擊陰極靶表面,將靶材表面原子濺射出來沉積在基底表面上形成薄膜。
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濺射鍍膜
濺射鍍膜就是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面,使被轟擊出的粒子沉積在基片上的技術(shù)。通常,利用低壓惰性氣體輝光放電來產(chǎn)生入射離子。磁控濺射機(jī)械設(shè)備是目前汽車玻璃膜生產(chǎn)加工中的專業(yè)性,與前期或現(xiàn)如今一些假劣汽車玻璃膜生產(chǎn)商仍在采用的著色劑與鍍鋁復(fù)合性方式來生產(chǎn)加工窗膜的制作工藝有著本質(zhì)的不同。陰極靶由鍍膜材料制成,基片作為陽極,真空室中通入0.1-10Pa的ya氣或其它惰性氣體,在陰極(靶)1-3KV直流負(fù)高壓或13.56MHz的射頻電壓作用下產(chǎn)生輝光放電。電離出的ya離子轟擊靶表面,使得靶原子濺出并沉積在基片上,形成薄膜。濺射方法很多,主要有二級(jí)濺射、三級(jí)或四級(jí)濺射、磁控濺射、對(duì)靶濺射、射頻濺射、偏壓濺射、非對(duì)稱交流射頻濺射、離子束濺射以及反應(yīng)濺射等。