凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

凈化車間共有五部分組成：

1、隔間

凈化車間隔間分為三大部分,更衣室,千級區(qū)和百級區(qū),更衣室與千級區(qū),千級區(qū)和百級區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower),凈化車間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox).當(dāng)人員進入凈化車間時,首先要經(jīng)過風(fēng)淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果。

2、風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖

系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱 FFU 系統(tǒng)：

<1>全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機和過濾器

千級區(qū)過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區(qū)過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%。

凈化車間的原理：

通過空調(diào)系統(tǒng)和凈化裝置把空氣進行調(diào)濕、調(diào)溫和過濾,然后把凈化的空氣通過凈化車間的過濾器送入到凈化車間內(nèi),達到潔凈等級的標準.

通常: 溫度: 22℃±3 ℃;濕度:55%±5%.包括:

1.空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng);

2.2. 空氣凈化系統(tǒng).

凈化車間的類型：

按潔凈度和氣流的狀態(tài)的組合可以分為三種方式:

1.紊亂式凈化車間;

2.水平平行流式凈化車間;

3.垂直平行流式凈化車間

通過凈化車間屋頂?shù)倪^濾器出口向屋內(nèi)送風(fēng).通過墻壁的排氣口回風(fēng)，以玻璃纖維為主

體的制成的過濾網(wǎng)。

等某一空間需要過濾器與照明時，可以將嵌入式燈具與hepa空氣過濾器合并在一起，這種器具經(jīng)常使用在小型且已預(yù)制好的凈化車間內(nèi)，這種器具為嵌入式，有開放的頂部和一個替代燈罩的巧克力制百葉，同時用于作為照明照明燈具與空氣輸送模塊。為了防止天花板上照明與空氣過濾器空間需求的沖突，同時作為淚滴型燈具的變通方式，制造業(yè)已發(fā)展出模塊式的天花板系統(tǒng)，具有內(nèi)建在格架通道內(nèi)的整合照明，這些系統(tǒng)允許層流氣流不受到影響。污染控制是凈化車間設(shè)計結(jié)構(gòu)的主要目標，任何帶有進入凈化車間的潛在污染源要嚴格清除使其控制在一定范圍內(nèi)，照明燈具要進行污染評估檢測。