真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

以下是科創(chuàng)真空為您一起分享的內(nèi)容，銳誠真空公司專業(yè)生產(chǎn)銷售氦檢漏設(shè)備，歡迎新老客戶蒞臨。

機(jī)械系統(tǒng)主要由以下四個(gè)單元構(gòu)成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。

1.1真空箱單元

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執(zhí)行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質(zhì)制造，其內(nèi)表面在加工后經(jīng)拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦氣回收單元

充氦氣回收部分主要包括儲(chǔ)氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機(jī)、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計(jì)和管道等組成。能在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)對(duì)工件進(jìn)行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。

1.3 檢漏單元

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)機(jī)械系統(tǒng)部分的氦檢漏單元，氦質(zhì)譜檢漏儀采用進(jìn)口產(chǎn)品，自動(dòng)校準(zhǔn)漏孔。技術(shù)成熟，性能穩(wěn)定，安裝維護(hù)方便，使其和真空箱連接更加協(xié)調(diào)緊密。

氦氣檢漏設(shè)備的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

說到氦氣檢漏設(shè)備的特點(diǎn)，首先，我們還需要注意核心部件分子泵，使用原裝進(jìn)口的檢漏儀專用的分子泵。美國AD放大器用于有效降低氦氣檢漏設(shè)備的噪聲并提高氦氣檢漏設(shè)備的靈敏度。 180度非均勻磁場質(zhì)譜儀設(shè)計(jì)用于聚焦和高靈敏度。

氦氣檢漏設(shè)備的檢漏口具有較高的耐壓性，檢漏率范圍廣，可檢出較大的泄漏和較小的泄漏。 離子源燈絲采用氧化釔銥金絲，壽命長，靈敏度高。 獨(dú)特的三屏切換，信息替換更豐富，檢漏更方便； 它具有快速氦氣清洗功能和快速響應(yīng)功能。

氦氣檢漏設(shè)備可實(shí)現(xiàn)一鍵歸零； 采用全自動(dòng)液晶觸摸彩屏顯示，實(shí)現(xiàn)智能自動(dòng)化，操作更方便，簡單可靠； 中英文菜單，菜單可以一鍵實(shí)現(xiàn)，實(shí)際使用效果突出。

半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因

1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；

2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；

3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。

4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。

氦質(zhì)譜檢漏儀

充氦法

充氦法也稱負(fù)壓法 ，一個(gè)密閉的氣室連接真空泵和氦氣罐，將被檢零件裝入一個(gè)氣室，開始關(guān)閉氦氣罐閥門，機(jī)械泵把氣室先抽成真空，然后關(guān)閉真空泵閥門，打開氦氣罐閥門給氣室充氦，并靜置一段時(shí)間。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。被氦氣包圍的小器件上如果有漏隙，氦氣就慢慢充入小器件內(nèi)部。然后將氣室打開，取出被檢器件，用壓縮空氣吹掉其外表面可能吸附的氦。再把這些器件逐個(gè)(或成組) 地裝入接在檢漏儀進(jìn)氣法蘭處的容器中，把此容器抽空后打開節(jié)流閥，這時(shí)原先進(jìn)入被檢器件的氦又會(huì)經(jīng)過漏孔放出來，檢漏儀就會(huì)給出漏率響應(yīng)。