質(zhì)量流量計(jì)簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量：

以單位時(shí)間內(nèi)流過某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）. 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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質(zhì)量流量計(jì)故障處理方法

硬件故障若出現(xiàn)誤差偏大，積算器顯示不亮或不增值，顯示器空白位等現(xiàn)象，其原因：

a.安裝不規(guī)范，可直接導(dǎo)致流量計(jì)零漂，如質(zhì)量流量計(jì)安裝在泵出口處較近，傳感器支撐強(qiáng)度不夠，連接法蘭焊接不當(dāng)產(chǎn)生應(yīng)力信號(hào)，電纜受電磁干擾。

b.接線問題若出現(xiàn)顯示器不亮現(xiàn)象，應(yīng)檢查積算器電源連線，若出現(xiàn)保險(xiǎn)絲被燒，應(yīng)確認(rèn)輸入電壓與標(biāo)準(zhǔn)電壓標(biāo)稱值，交直流形式是否一致。又若出現(xiàn)積算器不隨流量增加時(shí)，應(yīng)檢查積算器接線，若積算器裝有正/反向程序，應(yīng)檢查流量計(jì)接線，因流量計(jì)接線不正確，會(huì)使積算器在反向流時(shí)不遞增。

c.工藝介質(zhì)變化若測(cè)量介質(zhì)出現(xiàn)夾氣，氣化或兩相流等現(xiàn)象，變送器會(huì)出現(xiàn)報(bào)警顯示，嚴(yán)重時(shí)，傳感器停止工作。

d.變送器失效。

e.傳感器失效。

f.管道吹掃問題。

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