氦質(zhì)譜檢漏儀

全自動液晶觸摸彩屏顯示，實現(xiàn)了智能自動化，操作方便、簡單可靠。

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主要技術指標

1. 可檢漏率：5×10-13Pa·m3/s

2. 漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-13Pa·m3/s

3. 啟動時間：≤3min

4. 響應時間：≤1.0s

5. 檢漏口的壓力：1000Pa

6. 電源要求：220v，50Hz，單相，10A

7. 機械泵抽速：4L/S

8. 工作環(huán)境：5-40℃

9. 相對濕度：≤80%

10. 外形尺寸：600(W)×550(D)×1000(H)

11. 重量：65kg

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氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理

電子元器件進密性檢測時常用背壓法。檢漏前用專用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時間控制壓入的量)，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦后放入專用檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實施檢漏。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐，終到達質(zhì)譜管。用這種方法測得的漏率也是總漏率

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對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，氦質(zhì)譜檢漏儀的真空度可能抽不上去，使氦質(zhì)譜檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對被檢件的抽速。的輔助真空系統(tǒng)只需一個機械泵和兩個閥門，復雜的系統(tǒng)可由前級泵、次級泵、閥門、真空規(guī)及標準漏孔等組成。次級泵可用擴散系或羅茨泵，前級系氣鎮(zhèn)式機械泵。

氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因為本底小，由某些原因引起本底的波動，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應出來，靈敏度高。氦的質(zhì)量小（相對分子質(zhì)量為4），易于穿過漏孔。