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國內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截斷、開方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙,浪費(fèi)材料,金剛石帶鋸價格也不菲。
實(shí)際上,應(yīng)該使用金剛石線鋸機(jī)切割加工,能得到更高的質(zhì)量。
元素環(huán)形金剛石線切割機(jī)的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺進(jìn)給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
線切割設(shè)備
IC器件的基礎(chǔ)性材料是半導(dǎo)體硅單晶材料,因此,世界各國對硅單晶材料的消耗量反映了一個國家的IC制造業(yè)的規(guī)模和工藝水平,同時各國硅材料生產(chǎn)及硅圓片生產(chǎn)水平也代表了一個國家IC工業(yè)的材料基礎(chǔ)的實(shí)力。
線切割設(shè)備廣泛應(yīng)用于太陽能電池用單晶硅、多晶硅切割;功能陶瓷、人工晶體的切割。其加工速度快,切面質(zhì)量好,被市場認(rèn)可。
精密切割機(jī)
金剛石線切割機(jī)的選擇:
當(dāng)切割樣品較小,切割深度較小時通??蛇x用小型金剛石線切割機(jī)。
市場上有專為材料研究人員而設(shè)計,用于脆性材料樣品的精密切割機(jī)??捎糜诟鞣N不同硬度材料的切割,特別是適用于脆性、易解理的晶體切割;操作簡便,加工質(zhì)量優(yōu)良;設(shè)備小巧,無需占用大面積位置。
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