長方形一體成型腔室

超高真空(UHV)是一門精密技術的藝術，各種鍍膜、檢測分析、量測、及其他實驗皆可根據需求整合在一個或多個的超高真空(UHV)腔體(箱體)，或以超高真空傳輸系統(tǒng)進行鏈接，Htc日揚真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經驗及技術。我們根據不同的實驗需求對超高真空(UHV)腔體(箱體)進行精密的設計，能滿足配合客戶實驗上的各種質量及性能要求。

1. 腔體常規(guī)材質：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；

2. 腔體可根據需求設有快開進樣門，鉸鏈機構，移動靈活，快開門密封件材質采用氟橡膠；

3. 法蘭接口、腔體大小根據客戶需求定制；

4. 腔室內外徹底超聲波清洗，表面清潔；

5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

6. 配合適的真空系統(tǒng)，真空度可進入10-6Pa；

7. 供貨周期：確認方案后5到6周；

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真空腔體的焊接工藝

鋁合金真空腔體密封水道焊接，有其特別的重要性。鋁合金焊接本身就因為其特殊的物理性能，容易出現(xiàn)氣孔，裂紋等缺陷。鋁合金真空腔密封水道的焊接更加增添了焊接的難度，鋁合金從固態(tài)轉變?yōu)橐簯B(tài)時，無明顯的顏色變化，所以不易判斷母材溫度，焊接預熱溫度過低，起弧困難，焊接預熱過高，影響母材組織性能，因此焊接預熱溫度，焊接速度的控制，都有很高的要求。另外，此零件焊接缺陷及其敏感，任何焊接不連續(xù)缺陷都是不允許的，焊后機加表面仍不允許出現(xiàn)氣孔等缺陷，精加后先對零件進行氦氣泄漏檢測，檢測要求氦測儀保持在1×10-9ATM CC/MEC以上，不漏；氦測后水壓測試，水壓保持120PISG，要求保壓1h不漏，因此，鋁合金水道蓋板與真空腔體水道進行焊接的焊接難度較大，因此焊接工藝是非常重要的。

真空腔體——真空度的分類

真空腔體可以按照真空度進行分類，包括粗或低真空度(< 760, > 1 torr)，中真空度(< 1, >10-3 torr)，高真空度(< 10-3, >10-8 torr)，超高真空度(< 10-8 torr)，以及非真空的高壓力 (> 760 torr)。真空腔的寬度和外徑等常規(guī)尺寸是非常重要的參數。標準鐘形罩或柱形腔體的可選直徑是12英寸，14英寸，18英寸和24英寸。

真空腔體或者真空組件的可選項包括法蘭、裝配形式、表面拋光或電拋光、開口或傳導口，加熱器和冷卻方式等。