Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒有，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤(rùn)滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

       Parylene的熱分解起源于苯環(huán)兩側(cè)的C-C鍵，通過將二上的H原子替換為F原子，就得到HT型Parylene，目前還未商品化，但HT型所擁有的大于420的使用溫度和的介電常數(shù)，使其在航空及半導(dǎo)體領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景尖銳的棱邊，裂縫里和內(nèi)表面。

      Parylene采用了一種獨(dú)特的化學(xué)氣相沉積工藝（CVD）。CVD工藝早應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的外延生長(zhǎng)，整個(gè)過程是氣態(tài)反應(yīng)，又在真空條件下進(jìn)行，因而可以獲得非常均勻的涂層，達(dá)到其它方法難以實(shí)現(xiàn)的同形性。

        鐵氧體磁性材料及稀土永磁：高導(dǎo)磁軟磁鐵氧體小磁芯以其體積小、性能高、用量大、市場(chǎng)前景好被我國(guó)磁性材料行業(yè)作為今后10-15年的發(fā)展產(chǎn)品。這些產(chǎn)品的表面采用Parylene來涂上一層保護(hù)層，以增強(qiáng)產(chǎn)品表面的絕緣性、堅(jiān)固性、光滑性。這種涂層是傳統(tǒng)的還氧噴涂所沒有的；稀土永磁產(chǎn)品在汽車、音箱、磁療、電機(jī)等領(lǐng)域的運(yùn)用大。但是這類產(chǎn)品表面的耐腐蝕要求非常高。普通的電鍍、電泳處理的后的產(chǎn)品的耐鹽霧時(shí)間能達(dá)到70-100小時(shí)。而采用Parylene可以達(dá)到300-500小時(shí)。其耐腐蝕時(shí)間是前者的4-5倍。磁性材料（絕緣、防銹、防線傷、填補(bǔ)穩(wěn)定特性制作）。

使用Parylene的好處！

1、可以抗酸堿腐蝕

2、可以抗溶解（在普通的溶劑中不會(huì)被溶解）

3、耐高溫（使用溫度高達(dá)140度），抗嚴(yán)寒（零下200度）

4、具有的屏障效果（低氣體滲透性）

5、可靠性強(qiáng)，具有極高的絕緣強(qiáng)度

6、采用Parylene進(jìn)行涂層,可得到均勻一致,透明且極薄的膜層

7、能涂敷到各種形狀的表面,包括尖銳的棱邊、裂縫

8、經(jīng)濟(jì)清潔、工序簡(jiǎn)單、速度快、批量處理能力強(qiáng)