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自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器,用很薄的Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性??捎糜谖⒉ā⑸漕l、聲學(xué)、壓電、輻射、化學(xué)、溫度等各種傳感器,使用環(huán)境包括淡水、海水、煉油廠、化工廠、血液和體液以及輻射環(huán)境等。由于很薄的Parylene薄膜涂層就能對(duì)器件提供有效防護(hù),對(duì)傳感器的靈敏度影響很小。
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arylene的輕質(zhì)和極端溫度條件下真空的功能已證明其航天的應(yīng)用性,能提高引線及焊點(diǎn)的結(jié)合強(qiáng)度,消除表面的水份、金屬離子和其他微粒污染,很高的性能/體積比。而且Parylene滿足 MIL-I-46058C, UL,IPC-CC-830B, NAV.INST. 3400.2,和 USAF-80-3等各種認(rèn)證,涂敷擁有優(yōu)越的化學(xué)、濕氣屏蔽性能和介電絕緣性能。 超輕超薄也是特性之一。
在0.2微米厚時(shí)就完全沒(méi)有,可以滲入其他材料所不能進(jìn)入的微細(xì)縫隙和孔洞之內(nèi),并且孔內(nèi)和孔口附近的厚度基本相同,故可以在不改變對(duì)象的外觀、尺寸、彈性、重量條件下,同時(shí)為其提供良好的防護(hù)。
性能如此優(yōu)異的parylene涂層為何至今沒(méi)有壟斷涂料界呢?
光電材料——電路、電路組件和元器件、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、傳感器以及光纖光纜接頭密封件:微米級(jí)涂層能對(duì)印制電路組件的表面提供非??煽康姆雷o(hù),既不會(huì)對(duì)基材形成傷害,而且有利于元器件散熱;
Parylene一般只應(yīng)用于高價(jià)值的產(chǎn)品中。因此Parylene雖取得了高精端產(chǎn)品的市場(chǎng),卻無(wú)法廣泛應(yīng)用到涂料市場(chǎng)中,因此無(wú)法壟斷整個(gè)涂料行業(yè)。
ParyleneN 聚對(duì),具有強(qiáng)的滲透能力,能夠有效地在各種細(xì)縫或盲孔表面形成薄膜。它的介電常數(shù)極低(2.65)及耗散因子小,且隨外界頻率的增加變化不大;同時(shí)具有的潤(rùn)滑效果,主要用于橡膠、光學(xué)領(lǐng)域。ParyleneC 在芳烴上一個(gè)氫被氯原子取代,具有非常低的水分子和腐蝕性氣體的透過(guò)率,沉積生長(zhǎng)速率也比N型快得多,是目前應(yīng)用廣、防護(hù)效果的粉材。
Parylene是環(huán)上的4個(gè)氫原子被氟取代,與C,N,D比較,其薄膜的介電強(qiáng)度高、介電常數(shù)低(即透波性能好),熱穩(wěn)定性好。薄膜本身連續(xù)、致密、無(wú),短期耐溫可達(dá)450攝氏度,長(zhǎng)期耐溫可達(dá)350攝氏度,并具有強(qiáng)的抗紫外線能力,更適合作為高頻微波器件的防護(hù)材料。parylene采用真空氣相沉積工藝制備(CVD)的0.1-100微米薄膜涂層,厚度均勻、致密無(wú)、透明無(wú)應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性,是當(dāng)代有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。