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發(fā)布時(shí)間:2021-01-17 12:13  







鍍膜常用在相機(jī)鏡頭、近視、老花鏡等矯正眼鏡上使用。鍍膜是在表面鍍上非常薄的透明薄膜。目的是希望減少光的反射,增加透光率,抗紫外線并抑低耀光、鬼影;不同顏色的鍍膜,也使的成像色彩平衡的不同。此外,鍍膜尚可延遲鏡片老化、變色的時(shí)間。眼鏡鍍膜常用藥品:二氧化鋯(ZrO?)、二氧化硅(SiO?)、ITO(增加鏡片導(dǎo)電抗紫外線)、HT-100(防水膜,防止老化和氧化)。

鍍膜原理:高電壓電子槍將以上幾種藥品汽化,均勻分布在鏡片表面。



靶材輸入電流及濺射時(shí)間可以控制,容易得到高精度的膜厚。較其它制程利于生產(chǎn)大面積的均一薄膜。濺射粒子幾不受重力影響,靶材與基板位置可自由安排?;迮c膜的附著強(qiáng)度是一般蒸鍍膜的10倍以上,且由于濺射粒子帶有高能量,在成膜面會(huì)繼續(xù)表面擴(kuò)散而得到硬且致密的薄膜,同時(shí)此高能量使基板只要較低的溫度即可得到結(jié)晶膜。薄膜形成初期成核密度高,可生產(chǎn)10nm以下的極薄連續(xù)膜。靶材的壽命長,可長時(shí)間自動(dòng)化連續(xù)生產(chǎn)。靶材可制作成各種形狀,配合機(jī)臺(tái)的特殊設(shè)計(jì)做更好的控制及比較有效率的生產(chǎn)。


磁控濺射真空鍍膜機(jī)運(yùn)作就是通過真空狀態(tài)下正交磁場是電子轟擊亞氣形成的亞離子再轟擊靶材,靶材離子沉積于工件表面成膜。

真空狀態(tài)就需要抽氣系統(tǒng)來進(jìn)行控制,每個(gè)抽氣口都要同時(shí)開動(dòng)并力度一致,這樣就能控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內(nèi)的壓強(qiáng)就不能均勻了,壓強(qiáng)對離子的運(yùn)動(dòng)是存在一定的影響的。另外抽氣的時(shí)間也要控制,太短會(huì)造成真空度不夠,但太長又浪費(fèi)資源,不過有真空計(jì)的存在,要控制好還是不成問題的。



磁控濺射真空鍍膜機(jī)導(dǎo)致不均的因素哪些?專業(yè)從事這方面工作的朋友其實(shí)還是比較的了解的,它主要可以分為以下幾個(gè)因素就是:真空狀態(tài)、磁場、亞氣。

磁場是正交運(yùn)作的,但你要將磁場強(qiáng)度做到一定均勻是不可能的,一般磁場強(qiáng)的地方,成膜厚度就大,相反就小,所以會(huì)造成膜層厚度的不一致,不過在生產(chǎn)過程中,由于磁場的不均勻?qū)е碌哪硬痪鶆虻那闆r卻不是常見的,為什么呢?



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