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凈化車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室,集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。
根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調機配合送風口系統(tǒng)、循環(huán)風機配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。
3、對于無塵區(qū)域內放置微生物耐藥性,使用的消毒劑要定期更換。
4、物料進入車間的時候一定要吹淋,在環(huán)境中使用真空吸塵器初步進行吸塵凈化,進入無塵室內后,再用真空吸塵器擦拭方法進一步處理。車間凈化系統(tǒng)沒有運行,禁止出入大型物體。
5、GMP江西無塵車間日常需要進行消毒滅菌,方法有很多,可以采用干熱滅菌、濕熱滅菌、輻射滅菌、氣體滅菌、消毒劑消毒。
電磁輻射法基于破壞細菌以及被吸收戶的熱效應等原理,紫外線滅菌就屬于該方法,常用的有紫外線殺菌燈等,利用紫外線燈直接布在潔凈室內,利用上班前后、午間休息、交接班等空檔時間開燈照射殺菌,時間控制在0.5-1H左右,滅菌效果良好而實用。另外,集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規(guī)定和要求,尤其是振動的控制,在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈室、無塵室的咨詢、規(guī)劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。
建筑平面設置應該屬建筑專業(yè)的專業(yè)范疇,但由于食品凈化車間要求人、物分流,并要保持各潔凈操作間的靜壓梯度,因此,該工程中建筑平面要求具備以下幾點:
1、各凈化操作間集中設置獨立前室為氣閘,氣閘室與各操作間同時相通,確保低潔凈區(qū)的空氣不向高潔凈區(qū)滲透。
2、實驗室的人的流經過更衣室更衣?lián)Q鞋→清洗間洗手→緩沖間→風淋室→各操作室。
3、食品空氣凈化車間物流由外走廊經過機械連鎖自消毒傳遞窗消毒后進入緩沖走廊后再經過傳遞窗進入各操作室。