無塵車間潔凈度等級劃分標(biāo)準(zhǔn)

ISO 14644的本部分ISO分級的各級別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標(biāo)準(zhǔn)方法.

為劃分等級,ISO 14644的本部分于確定粒子濃度限值用的粒徑范圍.本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,以依據(jù)大于或小于分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標(biāo)識.  

ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn).除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、技術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮.