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1>.一般石墨舟在運(yùn)行 100 至 120 次后就應(yīng)該對(duì)石墨舟進(jìn)行清洗,石墨舟清洗次數(shù)達(dá)到后,硅片會(huì)發(fā)紅。 這是因?yàn)橹凵系?SiN 會(huì)隨著運(yùn)行次數(shù)的增加而增加,影響舟的正常使用。
2>.在室溫條件下 (<40°C),將舟放入32升HF酸中,大約高過石墨舟1.5cm左右。
濃度是 10%, 腐蝕時(shí)間為 10-12小時(shí)。低濃度條件下,腐蝕槽會(huì)被產(chǎn)生的 SiN 顆粒污染,因此需要進(jìn)行定期的過濾維護(hù)。 濃度高于 10%會(huì)對(duì)操作人員造成危險(xiǎn)。其他部件應(yīng)該被分開放入腐蝕槽內(nèi)并且不可互相接觸,這樣 HF 酸就可以腐蝕到任何部位,這對(duì)于石墨連接塊而言更為重要。
石墨棒功率的調(diào)整方式,建議通過調(diào)整電壓的方式來(lái)調(diào)整功率。推薦石墨棒的調(diào)壓方式選擇可控硅調(diào)壓或調(diào)壓器調(diào)壓。一般不采用通過改變周波數(shù)的調(diào)功器的方式來(lái)調(diào)整。
一般情況下,石墨棒表面負(fù)荷密度是由爐內(nèi)溫度和石墨棒表面溫度的關(guān)系求得,建議使用石墨棒較大表面負(fù)荷密度1/2-1/3數(shù)值的功率。給石墨棒加的電流量越大,石墨棒的表面溫度越高。建議使用盡量小的表面負(fù)荷密度(功率)。
深圳市石金科技股份有限公司主營(yíng):石墨制品、石墨轉(zhuǎn)子、石墨舟、石墨氈、石墨熱場(chǎng)、CC復(fù)合材料、石墨材料、石墨零件、石墨板、VC散熱石墨模具、VC散熱石墨治具、超薄VC散熱石墨模具、超薄VC散熱石墨治具,歡迎咨詢!
石墨零件具有經(jīng)過特殊加工的石墨,具有耐腐蝕、導(dǎo)熱性好、滲透率低等特點(diǎn)。
石墨零件的熔點(diǎn)為3850±50℃,沸點(diǎn)為4250℃,即使經(jīng)超高溫電弧灼燒,重量的損失很小,熱膨脹系數(shù)也很小。