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測(cè)力傳感器有哪些范圍?
目前高l精度測(cè)力傳感器大多都是利用MEMS技術(shù)在單晶硅片上加工出真空腔體和惠斯登電橋,然后經(jīng)過(guò)溫度補(bǔ)償和校準(zhǔn)后,這樣的傳感器具有體積小,精度高,響應(yīng)快,不受溫度變化影響等優(yōu)點(diǎn)。
一般人們都認(rèn)為測(cè)力傳感器只能用來(lái)測(cè)量氣體的壓強(qiáng)大小,其實(shí)它還可以利用氣壓和海拔高度的對(duì)應(yīng)關(guān)系用來(lái)測(cè)量當(dāng)前的海拔高度,汽車的車載GPS接收機(jī)也同樣采用了測(cè)力傳感器。
影響測(cè)力傳感器穩(wěn)定性的因素:
1、測(cè)力傳感器的結(jié)構(gòu)
測(cè)力傳感器的彈性元件、外殼、膜片及上壓頭、下壓墊的設(shè)計(jì),都必須保證受載后在結(jié)構(gòu)上不產(chǎn)生性能波動(dòng),或性能波動(dòng)很小,為此在測(cè)力傳感器設(shè)計(jì)時(shí),應(yīng)盡量作到應(yīng)變區(qū)受力單一,應(yīng)力均勻一致;貼片部位較好為平面;在結(jié)構(gòu)上保證具有一定的抗偏心載荷和側(cè)向載荷的能力;安裝力遠(yuǎn)離應(yīng)變區(qū),測(cè)量時(shí)應(yīng)避免載荷支承點(diǎn)的位移。盡管測(cè)力傳感器屬于裝配制造產(chǎn)品,但為了保證具有較佳技術(shù)性能和長(zhǎng)期穩(wěn)定性,盡可能將它設(shè)計(jì)成一個(gè)整體結(jié)構(gòu)。
測(cè)力傳感器的處理工藝有哪些?
冷熱循環(huán)法
冷熱循環(huán)穩(wěn)定性處理工藝為- 196℃×4小時(shí)/190℃×4小時(shí),循環(huán)3次,可使殘余應(yīng)力下降90%左右,并且組織結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,微量塑性變形抗力高,尺寸穩(wěn)定性好。釋放殘余應(yīng)力的效果如此明顯,一是因?yàn)榧訜釙r(shí)原子熱運(yùn)動(dòng)能量增加,點(diǎn)陣畸變減小或消失,內(nèi)應(yīng)力下降,上限溫度越高,原子熱運(yùn)動(dòng)越大塑性越好,越有利于殘余應(yīng)力釋放。二是因?yàn)槔錈釡囟忍荻犬a(chǎn)生的熱應(yīng)力與殘余應(yīng)力相互作用,使其重新分布而獲得殘余應(yīng)力下降的效果。