無(wú)塵車間凈化技術(shù)的設(shè)備發(fā)展

　　美國(guó)ASYST公司、德國(guó)MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項(xiàng)新的無(wú)塵車間潔凈技術(shù)在100級(jí)潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到高ji別的微環(huán)境，無(wú)塵車間消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對(duì)集成電路成品率和可靠性的影響作用。我們要做好組合式空調(diào)機(jī)組所有接縫處的密封處理，表冷器凝結(jié)水管上設(shè)水封，保證空調(diào)不漏風(fēng)。

移動(dòng)式層流小車

①主體框架采用304不銹鋼，工作區(qū)三面PC板一面可開啟門，美觀整潔，易于清潔消毒;

②采用可調(diào)風(fēng)量的風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，通過(guò)調(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)的工況，保證潔凈工作區(qū)的風(fēng)速在額定范圍內(nèi);

③氣流流形為垂直流，空氣自上而下，在工作區(qū)與PC板之間形成空氣保護(hù)，并與外部形成正壓差，保證工作區(qū)的潔凈度。

④設(shè)有報(bào)警系統(tǒng)，風(fēng)機(jī)非正常狀態(tài)停機(jī)，將自動(dòng)報(bào)警。