光波超精密——閉式圓柱氣浮導(dǎo)軌

直線導(dǎo)軌通過滾珠在滾道中的滾動，實現(xiàn)了導(dǎo)軌滑塊的直線運動，滑塊與導(dǎo)軌滑槽之間存在間隙。在導(dǎo)軌滑塊工作一段時間后，間隙中堆積著硬砂粒或金屬屑，達(dá)到一定程度時就會與導(dǎo)軌表面產(chǎn)生摩擦，磨損滑槽表面，增加滑槽表面粗糙度，甚至形成微坑。線纜的表面越粗糙，就越容易聚集外界的污染物，從而降低防銹性。若磨損的表面同時暴露出基體表面，而無法從其它部位及時補上導(dǎo)軌油，該部位將完全失去防銹保護。

切忌用手直接接觸導(dǎo)軌，手上的汗水會導(dǎo)致直線導(dǎo)軌銹蝕。尤其天氣較熱時，操作者應(yīng)先戴手套、手指套或?qū)Ｓ霉ぞ?。人類汗液是一種無色透明或淡黃色帶微酸咸味的液體，其 pH值為5~6。除了含鈉，鉀，鈣，鎂之外，還含少量的尿素，乳酸，檸檬酸和其他有機酸。人的汗液與金屬接觸時，會在金屬表面形成一層汗膜，汗膜會對金屬產(chǎn)生電化學(xué)作用，腐蝕金屬。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——閉式圓柱氣浮導(dǎo)軌

采用直線導(dǎo)軌的滑塊上安裝的油嘴，可直接用注油槍注入油脂，也可將專用油管接頭與供油機的供油油管連接，進(jìn)行主動潤滑。一般采用導(dǎo)軌式固定元件，保證了直線導(dǎo)軌的精度。如果直線導(dǎo)軌彎曲變形，那么元件就失去了精i確度導(dǎo)向。線性導(dǎo)軌具有互換性，機床導(dǎo)軌滑塊，可分別更換滑塊、導(dǎo)軌甚至直線導(dǎo)軌組，機臺可重獲高精度導(dǎo)引。

光波超精密技術(shù)研究院——閉式圓柱氣浮導(dǎo)軌

閉式靜壓導(dǎo)軌具有如下特點：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強；

(2)氣膜剛度較高，所以對導(dǎo)軌本身的結(jié)構(gòu)的剛度要求比較高；

(3)導(dǎo)軌制造及調(diào)整比較復(fù)雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般是采用不等面積氣腔的結(jié)構(gòu)。

同時氣浮導(dǎo)軌按安裝特征可以分為平面封閉型、圓筒封閉型、重力平衡型和真空預(yù)載荷型。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——閉式圓柱氣浮導(dǎo)軌

實踐中，氣浮墊的性能比較復(fù)雜，受多種因素的影響。對于要求較高精度的氣浮導(dǎo)軌，應(yīng)考慮以下實際因素：(1)向空氣軸承提供的氣體壓力越大，其承載能力和剛度也越大；總的供氣壓力是0.30.6MPa。(2)可通過增加節(jié)流孔數(shù)量來提高空氣軸承的承載能力和剛度。通常節(jié)流孔布置在氣浮墊的中間位置。改進(jìn)氣浮軸承的特性，可適當(dāng)調(diào)整氣膜厚度和節(jié)流孔直徑的大小，這種方法既簡單又有效。

獨立的具有隔、防震功能的整體加強的鋼骨水泥及鋪設(shè)底沙基的設(shè)備支承基礎(chǔ)（建議的結(jié)構(gòu)形式）。

地基振幅要求：8 微米，（0～6）Hz；3 微米，（6～50）Hz；8 微米，大于 50Hz。

設(shè)備支承地基的定位安裝面的水平等高差要求：≤2 mm。

地基的實施結(jié)構(gòu)形式：由建筑設(shè)計人員根據(jù)精密導(dǎo)軌所在設(shè)備安裝的地質(zhì)條件及必需保持的穩(wěn)定性精度的要求進(jìn)行設(shè)計和建造。

注意：如果您的測量設(shè)備周圍有大的震源，請根據(jù)地基圖紙準(zhǔn)備地基。震源指所有可能對地基產(chǎn)生振動的影響源，含大的加工機床，磨床，沖床，交通要道等。

氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承的基本原理，實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。同時還具有誤差均化作用，因而可用比較低的制造精度來獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測量儀器、精密機械中得到了廣泛的應(yīng)用。

大理石氣浮導(dǎo)軌對材料的要求

大理石氣浮導(dǎo)軌的制作采用了是空氣靜壓zhou軸承技術(shù),因此它具有軸/徑向跳動小、重復(fù)定位精度高、加載驅(qū)動力小、能在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)工作等特性.為了保證氣浮導(dǎo)軌具備這些性能,在選用制作材料時要求它具有以下特征:

1.導(dǎo)熱性要好,隨時間及空間改變,溫度隨之改變進(jìn)而造成構(gòu)件內(nèi)部的溫度梯度,引起機器結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲;

2.熱膨脹系數(shù)要小,避免在溫度-變化下產(chǎn)生過大的伸長縮短;

3.要具有比較大的彈性,避免花崗石氣浮導(dǎo)軌在受力后出現(xiàn)較大的變形;

4.要有著較高的硬度及耐研磨性,保證在加工及使用中都不會輕易劃傷、磨損;

5.具有較高的強度,在①定的力量范圍內(nèi)不易斷裂;

6.對于運動部分的材料,在密度上要小,保證由于測量機的高速、高加速運動而產(chǎn)生的測量機慣性力不會造成損傷;

7.考慮材料吸水率小,以免受潮變形(質(zhì)量差的花崗石,由于吸水,足以引起微米級的變形);

8.工藝性好,易于加工,成本要低.

作為超精密測量、超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域的重要應(yīng)用,花崗石氣浮導(dǎo)軌的材料具備上述性能才能在使用中正常發(fā)揮作用.