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什么是流量控制器?
質(zhì)量流量計(jì),即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表,其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補(bǔ)償。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。②在進(jìn)口端置一金屬(或塑料)網(wǎng),可有效地改善流速分布畸變,得到分布均勻的氣流。簡(jiǎn)單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
質(zhì)量流量計(jì)如何工作的
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)件由兩個(gè)插入流體管道中的圓柱形探頭構(gòu)成。被加熱探頭里面含有一個(gè)加熱器,在靠近壁面附近布置一個(gè)溫差熱電偶并用導(dǎo)熱系數(shù)與密度之比較大的石墨填充。探頭內(nèi)布置一個(gè)熱電偶并用石墨填充。為更好的進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)量,所用熱電偶均采用直徑為0.1mmK型的NiCr-NiSi.。系統(tǒng)熱平衡分析當(dāng)流量傳感器被置于流體管道中,在流態(tài)穩(wěn)定時(shí),探頭與周圍介質(zhì)處于近似的熱平衡狀態(tài),這時(shí)流體、探頭、測(cè)量桿和管道組成一個(gè)傳熱系統(tǒng),此時(shí)的系統(tǒng)熱平衡方程為:傳感器世界2007.9.靜態(tài)變化函數(shù)曲線氣流方向閥門待標(biāo)定流量計(jì)。二、溫度影響用于加氣機(jī)的CMF工作溫度遠(yuǎn)低于室溫,溫度影響必須考慮。標(biāo)定方案示意圖。標(biāo)定曲線利用傳熱學(xué)理論,結(jié)合熱式流量計(jì)應(yīng)用的工況場(chǎng)合,對(duì)于實(shí)際的熱交換過程有: 1、熱探頭與流體間的對(duì)流換熱對(duì)流換熱a包括受迫對(duì)流換熱和自然對(duì)流換熱。假設(shè)流管橫置,熱探頭壁面與流體溫差為60*C,則當(dāng)流體流速大于1m/s時(shí),G/e2<0.1,此時(shí)自然對(duì)流換熱與由于流體運(yùn)動(dòng)所導(dǎo)致的受迫對(duì)流換熱相比十分微弱。實(shí)際測(cè)量中G/2<<1,可以忽略自然對(duì)流換熱的影響。 2、熱探頭向測(cè)量桿構(gòu)架的導(dǎo)熱02隨著構(gòu)架材料導(dǎo)熱系數(shù)的不同,02差別很大。在探頭設(shè)計(jì)中,盡可能采用導(dǎo)熱系數(shù)小的材料制造構(gòu)架并采用絕熱、絕緣硅膠對(duì)探頭密封以減少導(dǎo)熱量。導(dǎo)熱量02計(jì)算公式如下:,dt A一桿構(gòu)架的橫截面積;A―桿構(gòu)架導(dǎo)熱系數(shù)。 3、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)熱探頭向周圍的輻射換熱03熱探頭表面溫度為,它要向氣流和另一個(gè)探頭進(jìn)行輻射換熱。將探頭表面磨光或鍍上一層發(fā)射率小的金屬并使其溫度保持在100*C之內(nèi),以減小輻射換熱。根據(jù)輻射換熱公式:一斯特藩一波爾茲曼常數(shù);4一探頭外表面面積;一熱探頭溫度;T:來流溫度。
質(zhì)量流量控制器主要參數(shù)
質(zhì)量流量精度: ±0.002×流量±零點(diǎn)漂移
密度測(cè)量精度: ±0.003g/cm3
密度測(cè)量范圍: 0.5~1.5g/cm3
溫度測(cè)量范圍: ±1°C
傳感器相關(guān)數(shù)據(jù):
環(huán)境溫度: -40~60°C
介質(zhì)溫度: -50~200°C
防爆類型: iBⅡBT3
關(guān)聯(lián)設(shè)備: 配套變送器
(3) 變送器相關(guān)數(shù)據(jù):
工作溫度: 0~60°C
相對(duì)濕度: 95%以下
電 源: 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W
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