流量控制器分類

熱式質(zhì)量流量器根據(jù)熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。

1．接觸式熱式質(zhì)量流量器這種質(zhì)量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內(nèi)，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計，適于測量氣體的較大質(zhì)量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。(4)適用范圍寬有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa。測量高流速、有腐蝕性的流體時不宜選用，這是接觸式的缺點。

2．非接觸式熱式質(zhì)量流量器這種流量計的加熱及測溫元件都置于流體管道外，與被測流體不直接接觸，克服了接觸式的缺點。

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什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準(zhǔn)確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體,包括腐蝕性氣體和特殊氣體,但是要注意,對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體,需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當(dāng)選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。④質(zhì)量流量控制器度高，其價格也很高，這就要求對其精心維護，如給其配備高質(zhì)量的穩(wěn)壓電源，對現(xiàn)場的振動及使用條件進行經(jīng)常檢查等，以保證度及儀表的安全。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。(2)測量控制的自動化質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;  三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。

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流量控制器安全使用準(zhǔn)則

①質(zhì)量流量控制器應(yīng)用的成功與否，與安裝有直接關(guān)系。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動影響，因為質(zhì)量流量控制器是基于振動原理工作的，外加振動會引入干擾。0級的精度等級4、多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等5、內(nèi)置70余種氣體，觸屏式直接操作切換，無需重新校準(zhǔn)6、標(biāo)配三種顯示方式：數(shù)字、模擬和本地面板想了解更多關(guān)于質(zhì)量流量控制器的相關(guān)資訊，請持續(xù)關(guān)注本公司。但盡可能小的外界干擾對測量無疑是有益的，所以對來自管線及現(xiàn)場環(huán)境的振動要盡量設(shè)法避免。

②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準(zhǔn)確的零點標(biāo)定，質(zhì)量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表，零點的漂移對測量結(jié)果有影響，長期使用時一定要定期進行標(biāo)定。

③一定要避免超過使用質(zhì)量流量控制器范圍的情況發(fā)生，這會引起儀表測量度的下降，嚴(yán)重時會導(dǎo)致儀表損壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。

④質(zhì)量流量控制器度高，其價格也很高，這就要求對其精心維護，如給其配備高質(zhì)量的穩(wěn)壓電源，對現(xiàn)場的振動及使用條件進行經(jīng)常檢查等，以保證度及儀表的安全。

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