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流量控制器分類
熱式質(zhì)量流量器根據(jù)熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。
1.接觸式熱式質(zhì)量流量器這種質(zhì)量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內(nèi),與流體直接接觸,常被稱為托馬斯流量計,適于測量氣體的較大質(zhì)量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸,因此元件易受流體腐蝕和磨損,影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。二、設(shè)備在使用條件上必須進(jìn)行零點標(biāo)定,該設(shè)備時屬于在線使用高精的測量儀表,長期使用時一定要定期的進(jìn)行標(biāo)定。測量高流速、有腐蝕性的流體時不宜選用,這是接觸式的缺點。
2.非接觸式熱式質(zhì)量流量器這種流量計的加熱及測溫元件都置于流體管道外,與被測流體不直接接觸,克服了接觸式的缺點。
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什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。②儀表使用過程中在使用條件下有必要進(jìn)行準(zhǔn)確的零點標(biāo)定,質(zhì)量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表,零點的漂移對測量結(jié)果有影響,長期使用時一定要定期進(jìn)行標(biāo)定。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復(fù)性好。
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流量控制器的性能特點
可按設(shè)計或?qū)嶋H要求設(shè)定流量,能自動消除系 統(tǒng)的壓差波動,保持流量不變。
克服系統(tǒng)冷熱不均現(xiàn)象,提高供熱(供冷)質(zhì)量。
完全解決近端壓差大,遠(yuǎn)端壓差小的矛盾。
減少系統(tǒng)循環(huán)水量,降低系統(tǒng)阻力。
減少設(shè)計工作量,不需要對管網(wǎng)進(jìn)行繁瑣的水力平衡計算。
降低調(diào)網(wǎng)難度,把復(fù)雜的調(diào)網(wǎng)工作簡化為簡單的流量分配。
免除多熱源管網(wǎng)熱源切換時的流量再分配工作。
流量顯示值均為測試臺上隨機標(biāo)定,流量(m3/h) 。
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流量控制器的穩(wěn)定控制時間
由于到達(dá)設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào),所以通常制造商用到達(dá)設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度,并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。提高開表率在儀表設(shè)備管理中,開表率的定義是:(儀表總臺數(shù)一未正常使用的儀表臺數(shù))/儀表總臺數(shù)。舉個例子, 容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間,但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴(kuò)大到10%。我們認(rèn)為如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值,那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。如下面示波器截屏圖所示,控制器在27.6毫秒時到達(dá)了與設(shè)備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。