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光刻膠簡介
賽米萊德——專業(yè)光刻膠供應商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?
光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,特別是近年來大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展,更是大大促進了光刻膠的研究開發(fā)和應用。印刷工業(yè)是光刻膠應用的另一重要領域。1954 年由明斯克等人首先研究成功的就是用于印刷工業(yè)的,以后才用于電子工業(yè)。 [1] 光刻膠是一種有機化合物,它被紫外光曝光后,在顯影溶液中的溶解度會發(fā)生變化。硅片制造中所用的光刻膠以液態(tài)涂在硅片表面,而后被干燥成膠膜。
光刻膠的作用
光刻開始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應用。 圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個developer就能做出需 要的模板圖案。光刻膠又稱光致抗蝕劑,是以智能
管感光材料,在光的照射與溶解度發(fā)生變化。
光刻膠成份
光刻膠通常有三種成分:感光化臺物、基體材料和溶劑。在感光化臺物中有時還包括增感劑。根據(jù)光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類:負性光刻膠和
正性光刻膠。
1、負性光刻膠
主要有聚酸系(聚酯膠)和環(huán)化橡膠系兩大類
2、正性光刻膠
主要以重氮醒為感光化臺物,以酚醛樹脂為基體材料。正膠的主要優(yōu)點是分辨率高,缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。
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光刻膠的未來發(fā)展
以下內(nèi)容由賽米萊德為您提供,希望對同行業(yè)的朋友有所幫助。
由于光刻膠的技術壁壘較高,國內(nèi)光刻膠市場基本被國外企業(yè)壟斷。特別是高分辨率的KrF和ArF光刻膠,基本被日本和美國企業(yè)占據(jù)。
國內(nèi)光刻膠生產(chǎn)商主要生產(chǎn)PCB光刻膠,面板光刻膠和半導體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模相對較小。國內(nèi)生產(chǎn)的光刻膠中,PCB光刻膠占比94%,LCD光刻膠和半導體光刻膠占比分別僅有3%和2%。
國內(nèi)光刻膠需求量遠大于本土產(chǎn)量,且差額逐年擴大。由于國內(nèi)光刻膠起步晚,目前技術水平相對落后,生產(chǎn)產(chǎn)能主要集中在PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等中低端產(chǎn)品,TFT-LCD、半導體光刻膠等高技術壁壘產(chǎn)品產(chǎn)能很少,仍需大量進口,從而導致國內(nèi)光刻膠需求量遠大于本土產(chǎn)量。
光刻膠分類概述
賽米萊德專業(yè)生產(chǎn)、銷售光刻膠,以下信息由賽米萊德為您提供。
基于感光樹脂的化學結構,光刻膠可以分為三種類型。
①光聚合型,采用烯類單體,在光作用下生成自由基,自由基再進一步引發(fā)單體聚合,然后生成聚合物,具有形成正像的特點。
②光分解型,采用含有疊氮醌類化合物的材料,經(jīng)光照后,會發(fā)生光分解反應,由油溶性變?yōu)樗苄?,可以制成正性膠。
③光交聯(lián)型,采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開,并使鏈與鏈之間發(fā)生交聯(lián),形成一種不溶性的網(wǎng)狀結構,而起到抗蝕作用,這是一種典型的負性光刻膠。