無(wú)塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實(shí)力公司用案例說(shuō)話，全國(guó)各地竣工潔凈、凈化、無(wú)塵車間、廠房工程眾多，免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì)，可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察

無(wú)塵室內(nèi)生產(chǎn)制造設(shè)備應(yīng)注意的重點(diǎn)

1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：

a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。

b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。

c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過(guò)濾裝置。

d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。

e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無(wú)塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。

f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。

h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。

i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。

j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無(wú)塵室之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。

k.應(yīng)有無(wú)塵室工具組，但不得帶出無(wú)塵室外使用。

l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無(wú)塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。

無(wú)塵車間的凈化設(shè)備

       風(fēng)淋室是現(xiàn)代工業(yè)潔凈廠房中必不可少的潔凈配套設(shè)備，它能去除人和物表面的塵埃，同時(shí)又對(duì)風(fēng)淋室兩側(cè)的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)起到了緩沖與隔離的作用。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于食品、生物工程及精密電子等領(lǐng)域。風(fēng)淋室分為“普通型和聯(lián)鎖型”兩類：普通型采用手動(dòng)啟動(dòng)吹淋的控制方式，個(gè)別操作者會(huì)選擇“不經(jīng)過(guò)吹淋就離開(kāi)”的逃避方式。這使得潔凈區(qū)的空氣潔凈度難以保證。甚至可能會(huì)影響到產(chǎn)品質(zhì)量。風(fēng)淋室是現(xiàn)代工業(yè)潔凈廠房中必不可少的潔凈配套設(shè)備，它能去除人和物表面的塵埃，同時(shí)又對(duì)風(fēng)淋室兩側(cè)的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)起到了緩沖與隔離的作用。

      潔凈室內(nèi)，在動(dòng)態(tài)情況下，塵埃的發(fā)生源是操作者，當(dāng)操作者進(jìn)入潔凈室之前，必須用潔凈空氣吹淋其衣服表面附著的塵埃顆粒 。