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圍繞塵埃來(lái)源和塵埃積聚對(duì)潔凈廠房保潔技術(shù)有如下要點(diǎn):
1、頂棚:頂棚材料多采用表面光滑材料,如彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板,可以采用吸附力強(qiáng)的無(wú)塵抹布擦拭表面,并配合伸縮桿、老虎夾等工具使用,得心應(yīng)手。對(duì)凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。
2、墻面:墻面材料多采用表面光滑材料,如玻璃、彩鋼板、塑料板、鋁板、扣板、不銹鋼板,可以采用吸附力強(qiáng)的無(wú)塵抹布、無(wú)塵抹水器擦拭表面,并配合玻璃刮、伸縮桿、老虎夾等工具使用,得心應(yīng)手。對(duì)凸凹不平處、陰角可用超濾塵工業(yè)吸塵機(jī)吸塵。
微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來(lái),產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢(qián)”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢(qián),而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將一開(kāi)始的設(shè)計(jì)定型。
在設(shè)計(jì)電子潔凈室的同時(shí),要確保所有建筑物的建筑面積或空間布局,所有建筑物都必須具有適當(dāng)?shù)撵`活性,整個(gè)區(qū)域的主體結(jié)構(gòu)不應(yīng)采用承載內(nèi)壁的方式。在電子潔凈室的設(shè)計(jì)中,必須通過(guò)攻擊來(lái)控制整個(gè)房間的高度。即使如此,它們的凈高也可以保持在100毫米的基本模量。在設(shè)計(jì)電子清潔廠房時(shí),應(yīng)根據(jù)整個(gè)廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性進(jìn)行設(shè)置,或適合于室內(nèi)設(shè)備與裝修水平的協(xié)調(diào)。