潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈室檢測之靜電檢測與驗收

1.于無塵室內離地 32 英吋 (813 mm) 處，測量該位置之空氣中正離子與負離子的含量，單位是每立方厘米離子數。測量點數： 10 個，或由業(yè)主自己決定。在同一位置做殘余電壓測試。  

1、天棚和墻、柱面裝飾工程在完成后應按電子行業(yè)標準SJ/T10694規(guī)定方法和下列項目進行性能檢測：

A.天棚和墻、柱面裝飾的罩面板必須選用靜電耗散材料制成，罩面板的表面電阻值應為1.0×105～1.0×1010Ω，一級標準的上限應小于1.0×108Ω，二級標準的上限應小于1.0×109Ω。一般抹灰墻面或罩面板使用非靜電耗散材料制成，其表面必須涂刷防靜電涂層，涂層材料應符合靜電耗散材料性能標準。

潔凈車間相比普通車間的優(yōu)勢

潔凈度環(huán)境不同，潔凈車間可以確保并維持潔凈度，在過濾過程中，采用初、中效過濾器外，還會進行過濾，將空氣中活的微生物進行消毒，保證車間內空氣潔凈度；潔凈車間凈化工程中送風量要比普通車間大很多，一般情況下，普通車間8-10次/H換氣，單向流潔凈車間400-600次/H換氣；潔凈車間內必須時刻保持正壓狀態(tài)，防止外界污染物進入潔凈區(qū)，而普通車間并不注重這些。

潔凈室的行業(yè)應用：

1.潔凈室是一個很多需要潔凈的行業(yè)必須要建造的一項工程，目前在生物研究、精密制造、生產、電子信息、半導體、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應用，潔凈室還可以根據客戶需要的潔凈級別來建造。

2.另外對級別要求較高的生產廠家，如航空、生物研究等，都可以建造較的潔凈室，當然成本也很高。潔凈室是控制產品生產環(huán)境的一項工程，沒有潔凈室，很多工業(yè)的敏感零件就不可能批量生產。潔凈室是密封的，并在一定空間范圍內，將空氣中的灰塵、有害氣體、并控制潔凈室內溫度、壓力、風速等。潔凈室能維持生產需要的工作環(huán)境，不受外界影響。