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PH值在蝕刻不銹鋼網(wǎng)片過程中充當(dāng)著重要的角色:
pH值對光致抗蝕劑的性能也有重大的影響,低pH值有助于少的側(cè)蝕(較高的蝕刻系數(shù))。
高pH值一般是針對快速蝕刻而言的。系統(tǒng)每天都開,但板子不是連續(xù)運行的,所以水會因揮發(fā)造成損失,但這種損失遠(yuǎn)少于從NHOH添加液中獲得的量。所以當(dāng)pH值過高時,必須增加排氣量,升高銅含量或降低補充液中的總堿度,高pH值有助于較多的銅的溶解。高pH值會產(chǎn)生較大的側(cè)蝕并會影響到一些光致抗蝕劑的性能,特別是水溶性光致抗蝕劑,氨水或NH4OH的添加通常是由一個pH感應(yīng)控制系統(tǒng)自動完成的。因為NH4OH含水,所以水的補加就必須保持平衡,以確保添加的水不會使氯離子或銅的濃度降低到它們的推薦值下面。而且,如果損壞了表層,所暴露出的鋼表面會和大氣反應(yīng)進行自我修理,重新形成這種氧化物"鈍化膜",繼續(xù)起保護作用。
當(dāng)堿性蝕刻液的pH值較高時,一些水溶性的抗蝕劑就會軟化,甚至被剝除。因此,較低的pH值可以被應(yīng)用于精細(xì)線路的蝕刻。如果pH值過低,必須通過降低排氣,降低銅含量,加入氨水或增加補充液中的總堿度。溶液的pH值在銅的可溶性控制、蝕刻速率和側(cè)蝕方面非常關(guān)鍵。補充液中的NH4OH提供了大量的需要維持堿性的pH值(遠(yuǎn)高于7.0)的基礎(chǔ)液,但額外需要的氨水要求達(dá)到推薦的pH值范圍(遠(yuǎn)大于7.0)。相反,低pH值是針對慢速蝕刻的。當(dāng)氨水中不含會攪亂系統(tǒng)平衡性的水時,氨氣在pH值的控制下會工作得很好,但使用時是相當(dāng)危險的。因此,高pH值的堿性蝕刻劑一般運用于高產(chǎn)率的生產(chǎn)。304不銹鋼用途:304不銹鋼機械性能的顯著特點用途是耐腐蝕性,對濃和稀具有固有的耐蝕性。然而,對于一個給定的堿性蝕刻體系,pH值必須高于低值(依賴于銅的濃度),目的是為了維持溶液中的銅鹽含量。
興之揚蝕刻電視304不銹鋼網(wǎng)小編來給大家講解什么是干法蝕刻:
電漿干法蝕刻主要應(yīng)用于集成電路制程中線路圖案的定義,通常需搭配光阻的使用及微影技術(shù),其中包括了1)氮化硅(Nitride)蝕刻:應(yīng)用于定義主動區(qū);2)復(fù)晶硅化物/復(fù)晶硅(Polycide/Poly)蝕刻:應(yīng)用于定義閘極寬度/長度;3)復(fù)晶硅(Poly)蝕刻:應(yīng)用于定義復(fù)晶硅電容及負(fù)載用之復(fù)晶硅;4)間隙壁(Spacer)蝕刻:應(yīng)用于定義LDD寬度;5)接觸窗(Contact)及引洞(Via)蝕刻:應(yīng)用于定義接觸窗及引洞之尺寸大??;6)鎢回蝕刻(EtchBack):應(yīng)用于鎢栓塞(W-Plug)之形成;7)涂布玻璃(SOG)回蝕刻:應(yīng)用于平坦化制程;NTK-D7是一種含鎳量比304低、含錳量比304高并含銅的奧氏體不銹鋼。8)金屬蝕刻:應(yīng)用于定義金屬線寬及線長;9)接腳(BondingPad)蝕刻等。
影響干法蝕刻特性好壞的因素包括了:1)干法蝕刻系統(tǒng)的型態(tài);2)干法蝕刻的參數(shù);3)前制程相關(guān)參數(shù),如光阻、待蝕刻薄膜之沉積參數(shù)條件、待蝕刻薄膜下層薄膜的型態(tài)及表面的平整度等。
不銹鋼蝕刻后表面平滑度差的原因是什么。
蝕刻后不銹鋼工件表面平滑度差,對于零件的后期使用與裝配肯定會有不好的影響,一般來說合格蝕刻加工的零件表面平滑度是比較高的,只要管控好每一個工序,基本不會出現(xiàn)什么問題,那么不銹鋼蝕刻后表面平滑度差的原因是什么呢,下面興之揚就為大家整理一下,大家對應(yīng)一步步排查。型號409—最廉價的型號(英美),通常用作汽車排氣管,屬鐵素體不銹鋼(鉻鋼)。
一:蝕刻液里的雜質(zhì)含量太高,蝕刻不準(zhǔn)確,會造成表面粗糙,更換蝕刻液就可以解決;
第二:一般不銹鋼蝕刻會采用三氯化鐵來進行,如果三氯化鐵的質(zhì)量也會影響工件表面平滑度,選擇質(zhì)量好的三氯化鐵供應(yīng)商是很有必要的;
第三:活化與添加劑含量不足,這就需要根據(jù)經(jīng)驗加強活化過程,以及定期補加合適區(qū)間的添加劑;
第四:氯離子濃度高或者磷酸離子濃度過低,也會引起工件表面平滑度差,因此要做好元素濃度的調(diào)整,氯離子過高可以更換部分溶液,或者添加適當(dāng)?shù)腍NO3和NH4NO3進行稀釋;
第五:如果不銹鋼原材料質(zhì)量不過關(guān),材料晶粒比較粗糙,那么時候后的工件表面也會比較粗糙,因此要做好原材料的質(zhì)量管控。