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千級(jí)無(wú)塵車(chē)間是什么意思?
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的Aji。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于Aji,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)級(jí)別中的千級(jí)。
千級(jí)無(wú)塵車(chē)間的標(biāo)準(zhǔn),微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi),這也就是業(yè)內(nèi)千級(jí)無(wú)塵車(chē)間的意思。(1000級(jí)的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過(guò)1000顆)。
無(wú)塵車(chē)間等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)劃分 潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644根據(jù)懸浮粒子濃度這個(gè)唯yi指標(biāo)來(lái)劃分潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級(jí),并且僅考慮粒徑限值(低限)0.1um~0.5um范圍內(nèi)累計(jì)分布的粒子群。根據(jù)粒子徑,可以劃分為常規(guī)粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
進(jìn)入潔凈無(wú)塵車(chē)間有哪些要求:
1.在個(gè)門(mén)口,地上貼著一張藍(lán)色的膠紙,踩上去把鞋底的東西粘下,然后脫掉鞋子拎在手里走進(jìn)去,然后把鞋放在的個(gè)人鞋柜里。這時(shí)的鞋不是我們平時(shí)穿的鞋,而是在進(jìn)車(chē)間后立馬換上的工鞋。工鞋是基本不會(huì)帶出車(chē)間的。
2.存完鞋后走到風(fēng)淋室門(mén)口拿起備好的小黑布片按規(guī)定的步驟在臉上擦幾下后進(jìn)入那七拐八拐的風(fēng)淋室,風(fēng)把頭發(fā)吹的像亂舞。
3.出了風(fēng)淋室,又得拿水澆濕的紙按規(guī)定步驟擦臉,戴眼鏡的還得洗眼鏡。
4.下面進(jìn)入穿衣服環(huán)節(jié)。
(1)先帶發(fā)網(wǎng),保證所有的頭發(fā)都在發(fā)網(wǎng)里,耳朵也得進(jìn)去;
(2)接著是凈化帽,帶上這個(gè)后頭部就只有眼睛露在外面了,其他部位都被罩住了,說(shuō)是帽子,其實(shí)把上身都快遮完了;
(3)然后穿上身和下身連在一起的凈化服,
(4)還有凈化鞋,跟靴子似的。
(5)完了是戴橡膠手套,必須把手套的口套在袖子的層袖口外面再把袖子的第二層袖口拉到手套外面。
5.再然后洗手,洗帶著手套的手。
6.洗完必須烘干才能進(jìn)又一個(gè)風(fēng)淋室,要求風(fēng)淋時(shí)間不少于28秒。
無(wú)塵車(chē)間物理式凈化方式
1.吸附性過(guò)濾—活性炭,活性炭是一種多孔性的含炭物質(zhì),它具有高度發(fā)達(dá)的孔隙構(gòu)造,活性炭的多孔結(jié)構(gòu)為其提供了大量的表面積,能與氣體(雜質(zhì))充分接觸,從而賦予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易達(dá)到吸收收集雜質(zhì)的目的。就象磁力一樣,所有的分子之間都具有相互引力
2.機(jī)械性過(guò)濾—HEPA網(wǎng) HEPA(High efficiency particulate air Filter),中文意思為空氣過(guò)濾器,達(dá)到HEPA標(biāo)準(zhǔn)的過(guò)濾網(wǎng),對(duì)于0.3微米的有效率達(dá)到99.998%,HEPA網(wǎng)的特點(diǎn)是空氣可以通過(guò),但細(xì)小的微粒卻無(wú)法通過(guò)。HEPA過(guò)濾網(wǎng)由一疊連續(xù)前后折疊的亞玻璃纖維膜構(gòu)成,形成波浪狀墊片用來(lái)放置和支撐過(guò)濾界質(zhì)。