氦質譜檢漏儀的工作原理

今天科儀的小編和大家分享的是氦質譜檢漏儀的工作原理，希望對您有所幫助！

氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質荷比不同的特點，利用磁偏轉分離原理將其區(qū)分開來。儀器對其示漏氣體氦氣有響應信號，而對其他氣體沒有響應，從而檢漏。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。

氦質譜檢測儀的標準器選擇

北京科儀真空技術有限公司專業(yè)生產(chǎn)氦質譜檢漏儀，今天科儀的小編就大家來分享一下氦質譜檢漏儀的標準器的選擇，希望對大家有所幫助！

標準器 采 用 滲 氦 型 標 準 漏 孔，漏 率 標 稱 值 在( 10 - 6 ～ 10 - 10 ) Pa·m3 /s，不確定度不大于 10% 。

精密玻璃溫度計，測量范圍(0 ～ 50) ℃ ，不確定度 U = 0. 04℃ ，k = 2。

氦質譜檢漏儀能為不同的需求提供不同的測量方法

氦質譜檢漏儀原理的氦質譜檢漏儀特點：

1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；

2.檢測的介質比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.不會受到主觀因素判斷的影響；

4.檢測的數(shù)據(jù)精準；

5.自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。

氦質譜檢漏儀進展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面：

（1）便攜式：zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節(jié)零點，量程自動轉換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

氦質譜檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢，科儀創(chuàng)新竭誠為您服務。

氦質譜檢漏儀的校準方法

氦質譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術性能指標，通過實驗，總結通過氦質譜檢漏儀對其漏率校準的方法。

氦質譜檢漏儀原理:

氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不

氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。

氦質譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行漏率部分的校準，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。

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