淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶(hù)設(shè)計(jì)、制造不同類(lèi)型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。

關(guān)泵。

　　水環(huán)真空泵要停泵時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉真空泵吸氣管路上的閥門(mén)，防止真空泵停泵后恢復(fù)常壓狀態(tài)，所吸的容器還是負(fù)壓狀態(tài)時(shí)，水箱出現(xiàn)回水現(xiàn)象。關(guān)閉進(jìn)水閥門(mén)后關(guān)閉電機(jī)，這樣是為了把真空泵泵腔里的水排出一部分，避免下次水環(huán)真空泵啟動(dòng)時(shí)，泵腔內(nèi)水過(guò)多而造成電機(jī)的啟動(dòng)負(fù)荷過(guò)大。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說(shuō)的、有毒的有害氣體。所以半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時(shí)就必須防止它們?cè)谡婵毡脙?nèi)或者排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時(shí)候，會(huì)引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達(dá)到一定程度與溫度時(shí)也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時(shí)，需要用氮?dú)庵?lèi)的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時(shí)條件下的安全范圍。　　

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對(duì)傳動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行改造

　　為減少電機(jī)、傳動(dòng)軸的振動(dòng)向水環(huán)式真空泵傳遞，把它與傳動(dòng)軸之間的剛性連接改為彈性連接。使用GB4323-84彈性套柱銷(xiāo)聯(lián)軸器，較大補(bǔ)償位移量為0.6毫米，補(bǔ)償角為1°30，這樣，電機(jī)、傳動(dòng)軸的振動(dòng)可以通過(guò)彈性聯(lián)軸器得到補(bǔ)償，不會(huì)直接傳遞到真空泵。

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