真空電鍍設(shè)備膜厚的不均勻問題

無論監(jiān)控儀精度怎樣，它也只能控制真空室里單點位置的膜厚，一般來講是工件架的中間位置。如果真空電鍍設(shè)備此位置的膜厚不是均勻的，那么遠(yuǎn)離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現(xiàn)為長期的不均勻性，但有些膜厚度的變化是由蒸發(fā)源的不穩(wěn)定或膜材的不同表現(xiàn)而引起的，所以幾乎是不可能消除的，但對真空室的結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)源的恰當(dāng)選擇可以使這些影響化。

在過去幾年中，越來越多的用戶要求鍍膜系統(tǒng)制造廠家提供高性能的小規(guī)格、簡便型光學(xué)鍍膜系統(tǒng)，同時，用戶對性能的要求不僅沒有降低，反而有所提高，特別是在薄膜密度和保證吸水后光譜變化化等方面。

現(xiàn)在，系統(tǒng)的平均尺寸規(guī)格已經(jīng)在降低，而應(yīng)用小規(guī)格設(shè)備進(jìn)行光學(xué)鍍膜的生產(chǎn)也已經(jīng)轉(zhuǎn)變成為純技術(shù)問題。因此，選用現(xiàn)代化光學(xué)鍍膜系統(tǒng)的關(guān)鍵取決于對以下因素的認(rèn)真考慮：對鍍膜產(chǎn)品的預(yù)期性能，基片的尺寸大小和物理特性以及保證高度一致性工藝所必需的所有技術(shù)因素。

真空鍍膜機(jī)實驗專用設(shè)備玻璃制擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)

真空泵按工作條件的不同分為兩類：能夠在大氣壓下工作的真空泵稱為初級泵（如機(jī)械泵），用來產(chǎn)生預(yù)備真空，需要在預(yù)備條件下才能工作的真空泵稱為次級泵（玻璃擴(kuò)散泵），次級泵用來進(jìn)一步提高真空度,獲得高真空。

擴(kuò)散泵的液體油有多種,目前廣泛使用的是3號擴(kuò)散泵油（20℃時飽和汽壓為1.3×10-6Pa）沸點375℃和275號硅油（20℃時飽和汽壓為1.3×10-8Pa）沸點430℃。擴(kuò)散泵開始工作之前,必須先開動機(jī)械泵抽氣，達(dá)到預(yù)備真空時，便可以使用電爐對擴(kuò)散泵蒸發(fā)器中的油進(jìn)行加熱,約25～35min的時間,便可觀察到,擴(kuò)散泵油開始沸騰。當(dāng)硅油加熱至沸騰時430℃,便產(chǎn)生大量油蒸汽,蒸汽經(jīng)過導(dǎo)管由各級噴嘴高速噴出。

鍍膜機(jī)真空機(jī)械選擇

鍍膜機(jī)真空機(jī)械選擇 鍍膜機(jī)真空機(jī)械選擇，真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 ⑴真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施?！?⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。