真空泵機組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設(shè)備、分析測試儀器;③機械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純設(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;④行業(yè):儀器、透析機;生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)的佳配置。它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低，容積。采用空氣冷卻，無需水冷。

       1.冒煙，如果是泵剛剛開始運轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象，屬于正常，如果長時間在冒煙就是不正常了。解決之道：冒煙說明泵的進氣口外，包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了，冒煙會結(jié)束。

　　2.噴油，說明進氣口外有大量的漏點，甚至是進氣露大氣。解決之道：封住泵的進氣口使泵運轉(zhuǎn)，如果不噴油的話，說明有漏點;排氣閥片損壞，檢查排氣閥片是否損壞，更換壞的排氣閥。

1、檢查真空泵管路及相接處是不是松動情況。擅長轉(zhuǎn)動真空泵，不用交費試看真空泵是否靈活。

2、真空泵長久性停用，需在泵全部拆裝，擦洗水分，將轉(zhuǎn)動部位及相接處涂以油脂裝好，穩(wěn)妥儲放。

3、擰開真空泵泵體的引水渠螺塞，灌漿引水渠(或引漿)。

4、關(guān)好排水口路的截止閥門和進出口氣壓表及進口負壓力表。

5、點動電機，不用交費試看電機變?yōu)槭欠襁m當(dāng)。

6、運行電機，當(dāng)真空泵一切正常運行后，打開進出口氣壓表和進口真空泵，視其顯示出適當(dāng)壓力后，漸漸地打開截止閥門，此外檢查電機負荷情況。