凈化車間屬于人造的環(huán)境

凈化車間屬于人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。

螺桿式空壓機組主要有以下系統(tǒng)組成

螺桿式空壓機組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動排水器、安全閥等設備部件。另外在空壓機系統(tǒng)中大多配置冷干機和空氣干燥器。由于半導體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。

凈化車間為保證系統(tǒng)的正常運行

凈化車間為保證系統(tǒng)的正常運行，節(jié)約能量，并防止室內(nèi)不間之間的相互污染，在凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時，還應綜合考慮，分別設置獨立的凈化空調(diào)系統(tǒng)驗收：1.風管不得有橫向拼接縫，盡量減少縱向拼接縫；2.風管內(nèi)表面必須平整光滑，不得在風管內(nèi)設加固框及加固筋；3.風管接縫應嚴密，漏風量符合設計要求；4.風管、靜壓箱和部件必須保持清潔；5.保溫層外表面應平整、密封、無脹裂和松弛現(xiàn)象；6.所有閥門的把手需設置在便于操作的位置。