真空泵機組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設(shè)備、分析測試儀器;③機械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純設(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;④行業(yè):儀器、透析機;生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)的佳配置。它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低，容積。采用空氣冷卻，無需水冷。

        目前有兩代渦旋泵產(chǎn)品。代產(chǎn)品由于軸承密封隔離不是很好，不能做到完全無油，故不推薦使用。第二代產(chǎn)品是單級渦旋設(shè)計。只有一個軸承，軸承與真空腔隔離，完全無油。并且裝有控制系統(tǒng)，可變頻控制0、50、60、70Hz，故性能較好。產(chǎn)品不需要維修，2～3年更換密封件，維護方便、簡單，具有較強的抽水蒸氣能力。BOC公司的渦旋泵在我國銷量達100臺/年左右。美國Varian公司:美國Varian公司1998年開發(fā)了渦旋泵，到目前已有三代渦旋泵產(chǎn)品。代產(chǎn)品已基本停產(chǎn)。第二通過技術(shù)改進，形成了風(fēng)格的二級設(shè)計:級是三渦旋線同時抽氣，可提高抽速，工作在從大氣壓到5．5×104Pa;第二級是單渦旋線，從5．5×104Pa到極限。一、二級同時工作，是真正的(從壓力角度區(qū)分的)兩級泵。第三代產(chǎn)品是在第二代產(chǎn)品上增加了控制系統(tǒng)。Varian公司的渦旋泵是其干式泵的主打產(chǎn)品，作為分子泵的前級主泵，不需要維修，2～3年更換密封件，維護方便、簡單，因此在我國銷量達100臺/年以上。

       一般情況下，真空泵工作2000小時后應(yīng)進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。

　　在使用萊寶真空泵過程中可能會出現(xiàn)軸裂的現(xiàn)象，這是因為真空泵的使用條件決定其運行過程中受力不一致，這就造成了軸與葉輪配合的部分發(fā)生磨損，擴大了軸與葉輪的間隙，隨著葉輪在軸上竄動，間隙會越來越大，受力也越來不均勻，因此軸裂的間隙更大了。而且當(dāng)葉輪在軸上不斷竄動時，葉輪會一次又一次的和兩側(cè)泵蓋碰撞磨損，這也會造成葉輪與泵蓋間的間隙變大，甚至?xí)箼C泵失效而失去作用。